AJA International, Inc. fue fundada en Scituate, Massachusetts, EE.UU. en 1989 por William Hale, MBA, BS Física. La empresa se estableció como proveedor de productos innovadores de película fina, vacío y microondas.
Todos los sistemas de AJA son instalados por personal de la fábrica de AJA siempre que sea posible y la aceptación y formación en fábrica son muy recomendables y bienvenidas. Con más de 900 sistemas y más de 7.500 magnetrones enviados a todo el mundo, AJA International, Inc. sigue descubriendo soluciones de diseño innovadoras que a menudo se copian pero nunca se igualan, ya que la empresa sigue siendo realmente LA VANGUARDIA EN TECNOLOGÍA DE PELÍCULA FINA.
Los sistemas de los que disponemos son los siguientes:
Sputtering Systems
Evaporation Systems
Ion Milling Systems
Hybrid Systems
Multi-Chamber Systems
- AJA ofrece sistemas de pulverización catódica por magnetrón para la deposición física de vapor a escala de investigación que van desde compactos (serie ATC Orion) a complejos (serie ATC Flagship), además de recubridores de lotes pequeños (serie ATC-B). Estos sistemas de sputtering pueden configurarse con orientación con-focal, de incidencia normal, fuera del eje, de ángulo oblicuo o con una combinación de orientaciones del blanco al sustrato. Las características del soporte del sustrato incluyen calentamiento radiante (1000°C), rotación azimutal, polarización RF/DC, movimiento en Z, refrigeración (H2O o LN2), inclinación o movimiento planetario.
- Los sistemas ATC-E (E-Beam Evaporation) y ATC-T (Thermal Evaporation) de AJA International son herramientas de recubrimiento HV y UHV altamente evolucionadas diseñadas para la deposición de películas finas a escala de I+D. Estos sistemas cuentan con bloqueos de carga, fresado iónico / fuentes de asistencia iónica, soportes de sustrato calefactados/refrigerados, control de deposición QCM / control informático y fuentes de deposición térmica de 300 amperios refrigeradas por agua exclusivas de AJA.
- Los sistemas multitécnicos de la serie ATC-M de JA International son herramientas versátiles que combinan varias operaciones de deposición de películas finas, fresado iónico y análisis en una sola cámara (sistemas híbridos) o en varias cámaras (sistemas multicámara) para permitir la transferencia in situ de sustratos de un proceso a otro sin romper el vacío.
- ATC -MC-HY Herramienta de deposición híbrida multicámara con tubo de transferencia UHV e interfaz de guantera
La herramienta de deposición híbrida multicámara ATC-HY combina dos cámaras de proceso híbridas, cada una con evaporación térmica y por haz de electrones, pulverización confocal por magnetrón, grabado por haz de iones con una inclinación de 360 grados y un soporte de sustrato refrigerado por agua. Además, una tercera cámara de proceso cuenta con capacidad de post recocido, oxigenación y calcinado. Todas están conectadas mediante un tubo de transferencia magnética UHV con aislamiento seccional, bloqueo de carga integral y compatibilidad con guanteras.
Para ampliar informaión no dude en contactar con nosotros en : info@irida.es o por teléfono en el 91 113 08 24
