AJA es un fabricante de sistemas de deposición de películas finas que incluyen sistemas de pulverización catódica por magnetrón, evaporación por haz electrónico, evaporación térmica y fresado iónico. Fundada en Scituate, MA, EE.UU. en 1989 por William Hale, MBA, BS Física, la compañía se estableció como un proveedor de productos innovadores de deposición física de vapor (PVD). Con muchos sistemas y fuentes de sputter magnetrón enviados a todo el mundo, AJA International, Inc. sigue descubriendo soluciones de diseño innovadoras que a menudo se copian pero nunca se igualan. La compañía sigue siendo LA VANGUARDIA EN TECNOLOGIA DE PELICULA DELGADA.
Los sistemas de los que disponemos son los siguientes:
- AJA ofrece sistemas de pulverización catódica por magnetrón para la deposición física de vapor a escala de investigación que van desde compactos (serie ATC Orion) a complejos (serie ATC Flagship), además de recubridores de lotes pequeños (serie ATC-B). Estos sistemas de sputtering pueden configurarse con orientación con-focal, de incidencia normal, fuera del eje, de ángulo oblicuo o con una combinación de orientaciones del blanco al sustrato. Las características del soporte del sustrato incluyen calentamiento radiante (1000°C), rotación azimutal, polarización RF/DC, movimiento en Z, refrigeración (H2O o LN2), inclinación o movimiento planetario.
- Los sistemas ATC-E (E-Beam Evaporation) y ATC-T (Thermal Evaporation) de AJA International son herramientas de recubrimiento HV y UHV altamente evolucionadas diseñadas para la deposición de películas finas a escala de I+D. Estos sistemas cuentan con bloqueos de carga, fresado iónico / fuentes de asistencia iónica, soportes de sustrato calefactados/refrigerados, control de deposición QCM / control informático y fuentes de deposición térmica de 300 amperios refrigeradas por agua exclusivas de AJA.
- Los sistemas multitécnicos de la serie ATC-M de JA International son herramientas versátiles que combinan varias operaciones de deposición de películas finas, fresado iónico y análisis en una sola cámara (sistemas híbridos) o en varias cámaras (sistemas multicámara) para permitir la transferencia in situ de sustratos de un proceso a otro sin romper el vacío.
- ATC -MC-HY Herramienta de deposición híbrida multicámara con tubo de transferencia UHV e interfaz de guantera
La herramienta de deposición híbrida multicámara ATC-HY combina dos cámaras de proceso híbridas, cada una con evaporación térmica y por haz de electrones, pulverización confocal por magnetrón, grabado por haz de iones con una inclinación de 360 grados y un soporte de sustrato refrigerado por agua. Además, una tercera cámara de proceso cuenta con capacidad de post recocido, oxigenación y calcinado. Todas están conectadas mediante un tubo de transferencia magnética UHV con aislamiento seccional, bloqueo de carga integral y compatibilidad con guanteras.
Para ampliar informaión no dude en contactar con nosotros en : info@irida.es o por teléfono en el 91 113 08 24
