SERIE UNIXX
Los módulos de lacado por centrifugado y pulverización, revelado, temperatura y smartEBR están disponibles como configuraciones independientes, de sobremesa o montadas en banco.
El diseño del bastidor base permite varias configuraciones de los módulos de proceso.
Oblea redonda de hasta Ø300 mm (Ø12 pulgadas)
Tamaño de sustrato cuadrado de hasta 230 x 230 mm (9 x 9 pulgadas)
Nuestra gama de productos también ofrece sistemas de procesamiento individuales personalizados para sustratos grandes de hasta 1.300 x 1.300 mm (51 x 51 pulgadas).
Subsistemas opcionales; sistemas de dosificación PR (bombas, jeringa o CPD).
Entre los diferentes sistemas nos encontramos
