Generador de Patrones de Volumen – VPG+ 800 / VPG+1400
DISEÑADO PARA LA PRODUCCIÓN DE FOTOMÁSCARAS EN SUSTRATOS GRANDES EN APLICACIONES DE VISUALIZACIÓN
Estas herramientas VPG+ de gran superficie están diseñadas para el patronaje de alto rendimiento de obleas de gran superficie (de 0,8 a 1,4 m). El VPG+ 1400 es nuestro mayor sistema diseñado específicamente para la industria de las pantallas. Es óptimo para aplicaciones de pantallas planas (FPD) como matrices TFT, filtros de color e ITO. Estas herramientas también se utilizan para aplicaciones industriales de fotomáscaras de gran superficie para envases avanzados, semiconductores, LED y aplicaciones de paneles táctiles.
La serie VPG+ está diseñada para realizar exposiciones rápidas y de alta calidad con una alineación extremadamente precisa. Cuenta con un interferómetro diferencial con una resolución de hasta 1,2 nm. La optimización de Mura garantiza una excelente uniformidad y resolución del CD. Las cámaras ambientales de bucle cerrado cumplen los requisitos más estrictos para la fabricación de fotomáscaras avanzadas. La estabilización de las condiciones de escritura garantiza la reproducibilidad entre máscaras y compensa cualquier variación durante las exposiciones prolongadas. Los sistemas VPG+ son compatibles con todos los formatos de datos industriales.
fact-sheet-VPG-800-1400.pdf (heidelberg-instruments.com)