Todos nuestros sistemas están diseñados exclusivamente para procesar sustratos individuales y están equipados con nuestro propio panel de control de fácil manejo con todas las funciones necesarias, como programación de recetas, servicio, mantenimiento y gestión de usuarios.
En función de los requisitos del cliente, la manipulación de obleas se adapta a obleas de silicio tradicionales o a sustratos de semiconductores compuestos avanzados (Si, SiC, GaAs, vidrio, etc.).
El uso de mandriles, insertos y efectores finales patentados permite procesar y manipular sustratos específicos del cliente de forma selectiva, garantizando así unos resultados óptimos.
Nuestros equipos internos de diseño, ingeniería y fabricación trabajan conjuntamente para personalizar e implementar rápidamente los requisitos técnicamente exigentes y complejos de los clientes.
Además de la producción de nuestras máquinas, que abarcan desde sistemas manuales de laboratorio hasta sistemas de clúster totalmente automatizados, también ofrecemos componentes (por ejemplo, mandriles, efectores finales) y subsistemas (por ejemplo, sistemas de dispensación, armarios de suministro de medios con diversos diseños de recipientes).
Suministramos nuestras tecnologías en todo el mundo a los principales fabricantes de semiconductores y a instituciones de investigación y desarrollo de renombre internacional.
Los diferentes sistemas de Deposición que ofrecemos pueden optar entre: