La elipsometría de imagen en pocas palabras:
La elipsometría de imagen es una técnica de metrología totalmente óptica y sin contacto que destaca en la caracterización del espesor de capa y del material de muestras y sustratos microestructurados de película fina.
La técnica combina la imagen microscópica con los principios de medición de la elipsometría espectroscópica. Alcanza una resolución espacial de aproximadamente 1 µm, superando fácilmente los límites de otras herramientas de metrología óptica como los elipsómetros o reflectómetros normales.
La medición se basa en la interacción de la muestra con la luz polarizada. Mediante modelado computacional, las propiedades de polarización medidas se traducen en mapas de las propiedades físicas de la muestra, como el grosor de la capa, el índice de refracción y la absorción, rugosidad o anisotropía.
Accurion EP4
El EP4, nuestra última generación de elipsómetros de imagen, combina elipsometría y microscopía. Esto permite caracterizar el espesor y el índice de refracción con la sensibilidad de la elipsometría en microestructuras de tan sólo 1 µm. La parte microscópica permite una medición simultánea de todas las estructuras dentro del campo de visión del sistema óptico. Los elipsómetros convencionales tienen que centrarse en el punto de medición, sin alcanzar una resolución lateral comparable, y medir punto por punto.
La parte microscópica del EP4 permite mejorar el contraste elipsométrico de las imágenes microscópicas obtenidas. Los pequeños cambios en el índice de refracción o el grosor pueden verse en la vista en directo de la cámara. Esto permite identificar regiones de interés para las mediciones elipsométricas a fin de obtener valores de espesor (0,1 nm – 10 µm) e índice de refracción. En una sola medición pueden registrarse mapas tridimensionales de la variación lateral del espesor y/o del índice de refracción.
La combinación con métodos complementarios, por ejemplo AFM, QCM-D, reflectometría, Raman, está disponible para permitir la observación de la misma área.
Otros accesorios pueden ampliar las posibilidades de medición en condiciones ambientales controladas o con cambios de temperatura.
Configuración modular: Fácil actualización entre diferentes configuraciones desde BAM, onda única, onda múltiple hasta elipsómetro espectroscópico completo
Elipsometría espectroscópica de imagen de 190/250/360 nm a 1000/1700/2700 nm
Máxima resolución elipsométrica lateral de 1 µm, lo que permite determinar el grosor y el índice de refracción en microestructuras tan pequeñas como 1 µm
Imágenes elipsométricas de contraste mejorado para una visualización en vivo de la muestra
Primero identificar, luego medir: selección intuitiva de la región de medición dibujando la región en la vista en directo
Medición paralela de múltiples regiones dentro del campo de visión seleccionado
Iluminación de filo de navaja patentada para la supresión no destructiva de los molestos reflejos traseros
Amplíe sus posibilidades de medición utilizando accesorios adicionales, por ejemplo, cubetas, control de temperatura o manejo de líquidos
Control de calidad: También disponible como versión OEM para el control de calidad en líneas de productos
Accurion SIMON
Metrología de inspección de superficies de nanopelículas
SIMON está diseñado específicamente para tareas de medición rutinarias. Su sencilla interfaz de usuario y la robustez de un elipsómetro de ángulo fijo permiten iniciarse en la elipsometría de imágenes. Puede funcionar en dos modos diferentes. El modo microscópico es muy rápido y permite visualizar variaciones y defectos en las capas más delgadas (por ejemplo, monocapas: d = 0,35 nm), mientras que el modo elipsométrico mide el espesor y el índice de refracción de los materiales de la muestra.
La elipsometría de imagen propiamente dicha combina la sensibilidad de las mediciones del espesor y del índice de refracción con la imagen de la microscopía. Esto permite determinar las variaciones del espesor y del índice de refracción con imágenes microscópicas en, por ejemplo, muestras microestructuradas.
Las aplicaciones típicas incluyen la inspección superficial de homogeneidades y defectos de grandes muestras en el control de calidad o la localización rápida de escamas de materiales 2D.
Sistema básico fácil de usar
Elipsometría de imagen con una resolución elipsométrica lateral de hasta 1 µm
Mediciones de espesor e índice de refracción de microestructuras
Visualización rápida de la distribución del grosor de las capas y de los defectos ocultos en grandes superficies
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