AFM de Alto Vacío Park NX-Hivac

Microscopio de fuerza atómica de alto vacío (AFM)
para el análisis de fallos y la investigación de materiales sensibles a la atmósfera

El Park NX-Hivac permite a los ingenieros de análisis de fallos mejorar la sensibilidad y la repetibilidad de sus mediciones de AFM mediante un entorno de alto vacío. Dado que la medición en alto vacío ofrece una mayor precisión, mejor repetibilidad y menos daños en la punta y la muestra que las condiciones ambientales o de N2 seco, los usuarios pueden medir una gama más amplia de respuesta de la señal en diversas aplicaciones de análisis de fallos, como la concentración de dopante de la microscopía de resistencia de barrido (SSRM).

Park NX-Hivac permite la investigación científica de materiales que requiere mediciones de alta precisión y alta resolución en un entorno de vacío libre de oxígeno y otros agentes.

La realización de mediciones de microscopía de resistencia de barrido (SSRM) en condiciones de alto vacío puede reducir la fuerza de interacción requerida entre la punta y la muestra, lo que puede reducir significativamente los daños tanto en la muestra como en la punta. Esto prolongará la vida de cada punta, haciendo que el escaneo sea más barato y conveniente, y puede proporcionar resultados más precisos al mejorar la resolución espacial y la relación señal/ruido. Esto hace que las mediciones de microscopía de resistencia de barrido de alto vacío (SSRM) realizadas con el NX-Hivac sean una excelente opción para los ingenieros de análisis de fallos que buscan aumentar su rendimiento, reducir los costes y mejorar la precisión.

 

Control de vacío automático NX-Hivac

El alto vacío es controlado por Hivac Manger, el bombeo para la condición de vacío optimizada y los procesos de ventilación son controlados lógica y visualmente por el clic de un botón. Cada proceso se controla visualmente por medio de colores y cambios esquemáticos, no tendría que preocuparse por la secuencia de la operación de vacío después de hacer clic en un botón. El software de control de vacío, más rápido y sencillo, le aporta facilidad de uso en el funcionamiento del AFM y una mayor productividad.

Funciones avanzadas de automatización

El NX-Hivac cuenta con una serie de herramientas que reducen al mínimo la intervención del usuario. Esto significa que puede escanear más rápido y aumentar el rendimiento de su laboratorio.

Automatización StepScan con platina motorizada

StepScan ofrece a los usuarios la posibilidad de programar el dispositivo para obtener imágenes de varias regiones de forma rápida y sencilla. El NX-Hivac le permite escanear una muestra en sólo cinco pasos: Escanear, levantar el voladizo, mover la platina motorizada a la coordenada definida por el usuario, acercarse y repetir. Esto aumenta enormemente la productividad y reduce al mínimo la intervención del usuario.

Alineación láser motorizada

La alineación motorizada del rayo láser de Park permite al usuario continuar sin problemas las rutinas de medición automatizadas sin que el usuario tenga que intervenir. Con nuestro avanzado soporte de voladizo prealineado, el rayo láser se enfoca en el voladizo al cambiar la punta. A continuación, el punto láser se optimiza a lo largo de los ejes X e Y mediante mandos de posicionamiento motorizados.
alineación motorizada del láser

Aumento de la precisión y la productividad

Aunque el NX-Hivac es el AFM de alto rendimiento más preciso del mundo, también es uno de los AFM más fáciles de usar y cómodos para las aplicaciones de análisis de fallos. Con el Park NX-Hivac, puede aumentar su productividad y confiar en que sus resultados son sólidos.

Escáneres XY y Z de bucle cerrado

Con dos escáneres de flexión XY y Z de bucle cerrado independientes para la muestra y la punta de la sonda, puede estar seguro de que sus escaneos serán extremadamente precisos. El NX-Hivac ofrece un escaneo XY plano y ortogonal con bajo arco residual, ofreciendo un movimiento fuera del plano inferior a 1 nm en todo el rango de escaneo. El NX-Hivac también cuenta con un escáner Z de alta velocidad con un rango de escaneo de 15 μm y la no linealidad del escáner Z es inferior al 0,5%. Esto proporciona mediciones precisas en 2D y 3D sin necesidad de procesar el software.
sensores de posición xyz de bajo ruido
Sensores de posición XYZ de bajo ruido

El NX-Hivac cuenta con el detector Z de bajo ruido de Park AFM, líder en la industria, que puede medir con precisión la topografía de la muestra, mientras que el escáner de bucle cerrado XY de bajo ruido minimiza la brecha de escaneo hacia adelante y hacia atrás a menos del 0,15% del rango de escaneo.
Electrónica digital de 24 bits
Electrónica digital de 24 bits

Reduzca al mínimo la pérdida de tiempo y maximice la precisión con el controlador electrónico de la serie NX que incorpora el NX-Hivac. Nuestro controlador es un dispositivo totalmente digital de alta velocidad de 24 bits que ofrece al usuario la posibilidad de realizar una amplia gama de exploraciones, incluido nuestro modo Sin Contacto Verdadero. Con su diseño de bajo ruido y su unidad de procesamiento de alta velocidad, el controlador es ideal para la medición precisa de la tensión y la corriente, así como para la obtención de imágenes a escala nanométrica. La electrónica integrada también cuenta con procesamiento digital de señales, lo que permite a los usuarios analizar fácilmente las mediciones y las imágenes.