Riber es el principal fabricante mundial de sistemas MBE. Cuenta con más de 40 años de experiencia en la producción de sistemas MBE líderes en la industria, altamente fiables y rentables, y posee con diferencia la cartera más amplia de máquinas de investigación y producción. Todos los reactores MBE se construyen en una sala blanca de clase 1000 con arreglo a normas estrictas en la sede de Riber, utilizando rutinas internas metódicas para garantizar la producción de reactores excepcionalmente limpios y altamente fiables. Cada sistema MBE está garantizado para alcanzar niveles de vacío ultra-altos que permiten la producción de capas epitaxiales con una calidad de material de vanguardia.
Tanto si se trata de MBE de fuentes sólidas, MBE asistida por plasma (PAMBE), MBE metal-orgánica (MOMBE), MBE de fuente gaseosa (GSMBE) o epitaxia de haz químico (CBE) totalmente gaseosa, Riber tiene una solución para su proceso.
Los diferentes sistemas son:
Compact 21 – 3» Sistema de investigación
RIBER – Compact 21 – 3» Sistema de investigación
Sistemas MBE
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Desde su lanzamiento en los albores del nuevo milenio, el Compact 21 se ha consolidado como el sistema comercial MBE de 3″ de mayor éxito jamás construido.
Con el ADN central de Compact 21 evidente en todas las configuraciones (III-V, II-VI, Gp IV, Óxidos, metales, GSMBE), este versátil sistema ha prestado un servicio distinguido en todos los campos de estudio a los que se ha aplicado, desde la investigación fundamental hasta el desarrollo y optimización de dispositivos.
Puede alojar hasta 12 puertos fuente y es compatible con pistolas electrónicas.
Disponible con transferencia de muestras manual o totalmente automática, este reactor limpio y potente le ofrece todo lo que necesita para alcanzar sus objetivos en MBE.
MBE 412 – 4» Sistema piloto de producción
RIBER – MBE 412 – 4» Sistema piloto de producción
Sistemas MBE
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El MBE 412 de Riber está recibiendo la atención de un número creciente de institutos de investigación clave que participan en proyectos aplicados con socios industriales.
Este mayor nivel de interés se debe en parte a la capacidad de 4″ (o 3 x 2″) favorecida en asociaciones estratégicas de este tipo en las que los hitos de éxito se basan en la demostración del dispositivo y en series de producción piloto cualificadas.
Con una transferencia de muestras totalmente automática, una flexibilidad de 12 puertos de origen y una epi de calidad reproducible para la fabricación de obleas sea cual sea el sistema de materiales, el 412 está perfectamente diseñado para lograr estos objetivos.
Todas las bases están cubiertas, desde la investigación básica de materiales hasta la producción a pequeña escala de su dispositivo.
MBE 49 – 5×3’’, 4×4’’, 150, 200mm production system
La serie Riber MBE 49 de máquinas de producción totalmente automatizadas establece los estándares de la industria en cuanto a calidad del material, rendimiento, producción y costes asociados al funcionamiento y mantenimiento. Más de 55 de estos sistemas se han entregado en todo el mundo, y el éxito que han traído a sus clientes ha dado a esta serie de reactores una reputación ampliamente sostenida y totalmente merecida para permitir la comercialización de nuevas tecnologías de dispositivos semiconductores compuestos en una gama y escala sin igual en otros lugares.
La serie MBE 49 dispone de cuatro reactores diseñados específicamente para depositar arseniuros, fosfuros, nitruros y óxidos. Estas máquinas, líderes en el sector, tienen una capacidad de 200 mm, 150 mm, cuatro obleas de 4 pulgadas o cinco obleas de 3 pulgadas y permiten la supervisión in situ y el tratamiento previo al crecimiento.
MBE 6000 – Multi 3’’, 4’’, 6’’, 200mm production system
En el corazón de cada comerciante exitoso de alto volumen o en – casa epi operación en todo el mundo es multi 4″ / 6″ MBE 6000 de Riber. Es el punto de referencia MBE de alto rendimiento y reproducibilidad. Campañas de duración a menudo superior a un año son testimonio de la estabilidad y fiabilidad de los reactores. Y no hay respaldo más poderoso que la repetición de pedidos realizados por los clientes nuevos y de larga data de Riber.
Hay muchas fábricas equipadas con 2 – 8 MBE 6000 funcionando lado a lado 24 / 7.
Inicialmente, los sistemas se utilizaban sobre todo para fabricar grandes volúmenes de material para dispositivos de microondas, principalmente obleas P-HEMT. Sin embargo, en los últimos 2 ó 3 años se ha empezado a descubrir todo el potencial de la MBE 6000, ya que se está aplicando fácilmente en una gama mucho más amplia de áreas de aplicación.Tanto es así, que ahora está firmemente establecido, no sólo en el campo de las microondas, sino también como la herramienta de producción en masa preferida para materiales optoelectrónicos que contienen As, P o Sb. Es un producto extraordinario: pregunte a nuestros clientes; son las principales empresas de semiconductores del mundo.
RIBER – Sistema MBE 6000
MBE 8000 – Production System
El sistema está diseñado para satisfacer las crecientes necesidades de dispositivos semiconductores compuestos con un alto nivel de rendimiento.
Este sistema MBE de fuente sólida 8×6ʺ o 4×8ʺ que utiliza metales ultrapuros en un entorno UHV ha superado las expectativas fundamentales del estado de la técnica en cuanto a diseño, uniformidad de temperatura y uniformidad de flujo para una tecnología de este tipo.
El sistema es capaz de cultivar lotes de ocho obleas de 150 mm (6 pulgadas) o cuatro obleas de 200 mm (8 pulgadas) con uniformidades notables (composición, grosor) y niveles muy bajos de defectos. La plataforma ha sido evaluada para el crecimiento de VCSEL (láseres emisores de superficie de cavidad vertical) de 940 nm.
La cualificación final de los expertos en 2023 validó la MBE 8000 en términos de proceso, robustez del sistema, estabilidad, ergonomía y control.
High throughput laser passivation tools
La pasivación de superficies es un paso importante en el procesamiento de semiconductores. Por ejemplo, en la fabricación de diodos láser, evita posibles daños o incluso la destrucción del láser. Para proteger las superficies o facetas pueden utilizarse distintos métodos de recubrimiento: ZnSe, SiN, óxidos. Nuestro reactor CPS está diseñado para proporcionar una pasivación eficaz basada en unas condiciones de proceso estrictas que garanticen la estabilidad, la reproducibilidad y el control del recubrimiento.
CPS reactor specifications
Para ampliar información: info@irida.es
