PHI VersaProbe IIIScanning XPS Microprobe
Micro-Focused Scanning X-ray Source
La tecnología central del VersaProbe III es la fuente de rayos X de escaneo monocromática, microenfocada y microenfocada, patentada por PHI, que proporciona un excelente rendimiento de espectroscopía de microárea de área grande y excelente. La espectroscopía, el perfil de profundidad y las imágenes se pueden realizar en todo el rango de tamaños de haz de rayos X, incluido el tamaño mínimo de haz de rayos X de menos de 10 µm. Las características únicas que ofrece esta tecnología incluyen:
- Rayo de rayos X escaneado en microespacio
- Rayos X inducidos por imágenes secundarias de electrones
- Imágenes XPS con espectros en cada píxel para análisis químico retrospectivo
- Espectroscopía puntual o multipunto
- Análisis de película delgada de punto o multipunto
Análisis automático llave en mano
Definición del área de análisis de apuntar y hacer clic
Robusta alineación de muestra Auto-Z en todos los tamaños de punto
Neutralización de carga de doble haz sin ajuste
Mueva sin preocupaciones del aislador al conductor en secuencias de autoanálisis

Multi-Technique Test Chamber
Integrated Optional Accessories
The VersaProbe III test chamber is designed to accept multiple photon and ion sources that are focused at a common point on the sample and controlled from the SmartSoft-VersaProbe user interface.
- Scanning x-ray source
- Sample introduction chamber
Optional intro/prep chamber - Argon sputter ion gun
- Electron energy analyzer
- Optical Microscope
- Five axis automated sample manipulator
Optional hot / cold version shown - LN2 dewar for sample cooling
- Optional sample preparation chambers
- Optional C60 sputter ion gun
- Optional UV light source for UPS
- Optional dual anode x-ray source
- Optional electron gun for SAM
- Optional 20 kV Ar2500+ gas cluster ion gun
SmartSoft-VersaProbe
SmartSoft
Whether you are a casual user or an expert, the work flow driven UI and enhanced feature set will increase your productivity.
- Intuitive single window user interface
- Session tabs guide you through the analysis process
- Integrated sample platen management
- Point and click analysis area definition on saved images
- User friendly queuing of multiple analysis tasks
- Multi-point analysis and sputter depth profiling within an imaged area
- Fully integrated control of optional accessories
MultiPak Data Reduction Software
Data Reduction for XPS and AES
PHI MultiPak is the most comprehensive data reduction and interpretation software package available for electron spectroscopy. The tasks of spectral peak identification, extracting chemical state information, quantification, and detection limit enhancement are addressed with an array of powerful and easy-to-use software tools for spectra, line scans, images and sputter depth profiles. MultiPak can be used on the instrument PC to process data in real time or on an off line PC for report generation.
Advanced Data Reduction Tools
- Auto peak identification
- XPS chemical state database
- XPS spectral deconvolution
- Quantitative analysis
- Non-linear least squares fitting
- Linear least squares fitting
- Target factor analysis
- Retrospective chemical imaging
- Batch mode data processing