El PHI 710 Scanning Auger Nanoprobe es un instrumento de espectroscopía de electrones Auger (AES) único y de alto rendimiento que proporciona información de estado elemental y químico de superficies de muestra y características de nanoescala, películas delgadas e interfaces. Diseñado como un sinfín de alto rendimiento, el PHI 710 proporciona el rendimiento superior de imágenes del sinfín, la resolución espacial, la sensibilidad y la resolución de energía espectral necesaria para abordar sus aplicaciones AES más exigentes.
Unique Technology
Coaxial Analyzer / Electron Gun Geometry
SE image
Ni map
In map
La geometría de la pistola electrónica de electrones y el analizador de PHI proporciona la sensibilidad y la visión sin obstrucciones necesarias para caracterizar completamente las microestructuras que existen en la mayoría de las muestras del mundo real con la espectroscopía de electrones Auger. En este ejemplo, los datos de Auger se obtienen de todos los lados de las partículas y entre partículas con igual sensibilidad.
- Cylindrical Mirror Analyzer (CMA) with coaxial field emission electron gun
- Imaging of textured or curved samples without analyzer induced shadowing
- High sensitivity at all sample tilt angles
Non-Coaxial Analyzer / Electron Gun Geometry
Los instrumentos con geometría no coaxial sufren efectos geométricos que reducen drásticamente la sensibilidad instrumental e incluso crean sombras que impiden cualquier análisis en algunas ubicaciones. En este ejemplo, solo se observa una alta sensibilidad en las áreas de las partículas que miran hacia el analizador, mientras que la parte posterior de las partículas y las áreas entre las partículas son inaccesibles debido al sombreado del analizador que ocurre en un instrumento con geometría no coaxial.
Superior Auger Imaging
La imagen secundaria de electrones en la figura A muestra la microestructura de una superficie de fractura de hierro dúctil que incluye nódulos de grafito y cráteres donde los nódulos de grafito se han caído como resultado de la fractura. Los mapas AES en la figura B muestran la capacidad de mapear a través del nódulo de grafito y el cráter donde Sn se ha segregado a la interfaz nódulo / hierro. La imagen SE y los mapas AES en las figuras C y D muestran la composición compleja de un pequeño precipitado observado en la figura B. Solo los instrumentos PHI Auger con pistola de electrones coaxial y geometría de analizador proporcionan una imagen de composición tan completa de una superficie de muestra microestructurada.
- CMA con pistola de electrones coaxial
- Plataforma de análisis de alta estabilidad
- Robusto software de registro de imágenes
Análisis de película delgada a nanoescala
La muestra que se muestra en la imagen SEM contiene un defecto que apareció en una película delgada de níquel depositada sobre un sustrato de silicio después de que se recoció para formar un siliciuro de níquel en la interfaz. Los perfiles de profundidad multipunto obtenidos con un haz de electrones de 20 nm de diámetro para análisis y un haz de iones de Ar de 500 V para pulverización catódica se obtuvieron utilizando una resolución de alta energía (0,1%) dentro y fuera del defecto. Se usó un software de ajuste lineal de mínimos cuadrados para aislar los espectros de Ni metal y siliciuro de Ni, así como los espectros de Si metal y siliciuro. Se puede observar que el siliciuro de Ni se encuentra solo en la interfaz y no en la película de Ni o en el sustrato de Si en el punto 1, que está fuera del defecto. Sin embargo, en el área del defecto en el punto 2 se observa un complejo de siliciuro de Ni multifásico en todo el defecto en el recubrimiento de Ni.
SmartSoft-AES
- Intuitive, fully integrated, Windows™ software platform controls all instrument functions.
- Session tabs guide you through the analysis process
- Seamless interface to PHI MultiPak data reduction software
MultiPak Data Reduction Software
PHI MultiPak es el paquete de software más completo de reducción e interpretación de datos disponible para espectroscopía electrónica. Las tareas de identificación del pico espectral, cuantificación, extracción de información del estado químico, límite de detección y mejora de la imagen se abordan con una serie de herramientas de software potentes y fáciles de usar para espectros, escaneos de línea, imágenes y perfiles de profundidad.
Características y accesorios
Analizador de espejo cilíndrico (CMA)
Pistola de electrones coaxial de emisión de campo de 25 kV
Detector de electrones secundario de centelleo
Módulo de alta resolución energética.
Etapa de muestra automatizada de 5 ejes
Pistola de iones Ar + de columna flotante de 5 kV
Software de control de instrumentos SmartSoft-Auger
Software de reducción de datos MultiPak
Recinto acústico
Ion bombea chamber principal
Accesorios Opcionales
Estacionamiento de muestras n situ
Aparato de fractura de muestra in situ
Recipiente de transferencia de muestra
Cámara de introducción
Detector EDS
Detector EBSD
Detector de EEB
Pistola FIB