Plasma Ashing Systems
Los sistemas de limpieza y decapado por plasma NANO-MASTER están diseñados para satisfacer una amplia gama de necesidades, desde el decapado de resistencias de obleas hasta la modificación de la superficie de lotes y cargas de obleas individuales. Son sistemas controlados por PC con varias fuentes de plasma, soportes de sustrato calentados y no calentados y la capacidad única de cambiar de los modos de grabado por plasma a grabado RIE
Aplicaciones :
Retraso en el análisis de fallos
Eliminación de materiales orgánicos e inorgánicos sin residuos
Eliminación de fotoresistencias
Desmearing y etch back
Limpieza de microelectrónica, agujeros perforados en placas de circuitos o marcos de plomo de Cu
Fomento de la adherencia, eliminación de problemas de unión
Modificación de la superficie de plásticos: Tratamiento con O2 para pintar
Producción de superficies hidrófilas o hidrófobas
Para ampliar información: info@irida.es
Telf. 91 113 08 24
