SERIE VARIXX
Configuración flexible de los módulos de procesamiento
Módulos disponibles: barnizadora, revelador, temperatura y smart-EBR
Manipulación de obleas finas, estándar o adheridas (Si, vidrio y otros)
Oblea redonda de hasta Ø300 mm (Ø12 pulgadas)
Sustratos cuadrados de hasta 230 x 230 mm (9 x 9 pulgadas)
Subsistemas opcionales; volteador de obleas, sistema de dispensación de PR (bombas, jeringa, CPD) y armarios de suministro de medios con varios diseños de botes.
Sistemas diseñados para usarse en las siguientes aplicaciones:
SPIN (SPRAY) COATING, DEVELOPING, BAKING & COOLING AND EBR
VARIXX 804
(Ø200mm) con 4 módulos de proceso
VARIXX 806
(Ø200mm) con 6 módulos de proceso
VARIXX 1204
(Ø300mm) con 4 módulos de proceso
