AFM Park NX20 300mm
La principal herramienta de nanometrología automatizada para medición y análisis de obleas de 300 mm
El Park NX20 300mm es el primer AFM de muestras grandes del sector que admite un rango de desplazamiento motorizado completo de 300 mm x 300 mm. Diseñado para el análisis de fallos y los laboratorios de control de calidad, el nuevo sistema Park NX20 actualizado puede inspeccionar una oblea completa de 300 mm de forma eficiente, sin necesidad de un engorroso desplazamiento de la muestra. A pesar de la ampliación de la plataforma para soportar la etapa XY motorizada de 300 mm, la innovadora tecnología de aislamiento de vibraciones de Park mantiene el nivel de ruido del sistema por debajo de 0,5 angstrom (Å) RMS o, normalmente, 0,3 Å RMS
en el campo. El rendimiento probado del AFM y la automatización SingleClick-AFM eliminan cualquier necesidad de ajuste de la muestra y hacen del Park NX20 el proceso de escaneo más eficiente y fácil de usar posible. Con nuestra interfaz «Program Mode», los usuarios pueden implementar fácilmente mediciones secuenciales de múltiples sitios, fiables y repetibles, en toda el área de 300 mm x 300 mm. Esto hace que el NX20 300 mm sea la mejor opción para los ingenieros de FA, QA y QC que necesitan escanear muestras grandes.
Construido específicamente para la inspección de obleas de gran tamaño
El NX20 300 mm fue diseñado desde cero para permitir mediciones óptimas de muestras grandes. Se puede analizar toda el área de la oblea de 300 mm para realizar mediciones de AFM de bajo ruido. Esto abre todo un nuevo ámbito de automatización de las mediciones, permitiendo a los ingenieros trabajar de forma más rápida, sencilla y con mayor precisión.
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Mandril flexible para muestras de 300 mm
El mandril de vacío del Park NX20 300 mm admite una amplia gama de tamaños, formas y tipos de obleas, lo que permite a los usuarios escanear con precisión prácticamente cualquier muestra.
Etapa XY de 00 mm
La platina XY motorizada de 300 mm permite a los usuarios mover la posición de medición del AFM dentro de toda el área de 300 mm.
Rendimiento probado del NX20 con una platina de 300 mm
El NX20 ya es la mejor opción para los ingenieros de FA, QA y QC que necesitan su incomparable facilidad de uso y automatización sin comprometer la precisión. Con su plataforma ampliada que admite una platina XY motorizada de 300 mm, el NX20 de 300 mm da un paso más, permitiendo a los usuarios inspeccionar muestras más grandes con facilidad y con una precisión extremadamente alta.
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Park SmartScan™ hace que obtener mediciones precisas sea sencillo
El Park NX20 está equipado con nuestro sistema operativo SmartScan, lo que lo convierte en uno de los AFM más fáciles de usar del mercado. Con una interfaz intuitiva pero extremadamente potente, incluso los usuarios sin formación pueden escanear rápidamente una muestra grande sin supervisión. Esto permite a los ingenieros senior centrar su experiencia en la resolución de problemas mayores y en el desarrollo de mejores soluciones.
Escanee múltiples sitios en toda la oblea de 300 mm
El modo de programación de SmartScan permite a los usuarios realizar mediciones secuenciales automatizadas de sitios, comparar morfologías superficiales, altura y rugosidad de la superficie de un sitio a otro y de una muestra a otra utilizando los modos basados en la rejilla y en la oblea. Esto puede mejorar en gran medida la comodidad del usuario y la productividad cuando se escanean muestras grandes.
bPotente creación de recetas
Nuestro sencillo proceso de creación de recetas permite a los ingenieros establecer preajustes definidos por ubicación, nombre, número y tipo en cada lote.
Optimizado para una amplia gama de aplicaciones
El NX20 300mm ofrece mediciones AFM automatizadas por receta para numerosas aplicaciones que proporcionan mediciones avanzadas y análisis de muestras a nanoescala. Con la capacidad de medir la rugosidad, la altura y la profundidad, realizar revisiones de defectos, análisis de fallos eléctricos y magnéticos, caracterización de propiedades térmicas e imágenes de propiedades nanomecánicas, el AFM es ideal para una amplia gama de tareas realizadas por ingenieros de FA, QA y QC que trabajan con muestras grandes.
