E-Beam Systems
El sistema de evaporación por haz de electrones está disponible en dos configuraciones diferentes. Una configuración vertical compacta de doble cámara presenta una cámara principal cúbica de 14″ donde se encuentra la platina, y debajo de la cámara principal se proporciona una cámara secundaria para alojar la fuente de haz electrónico. Esta configuración puede estar provista de una válvula de compuerta entre las dos cámaras que se utiliza como bloqueo de carga para mantener la fuente de haz electrónico y las bolsas de evaporación en vacío mientras se cargan y descargan los sustratos de la cámara principal. Para aplicaciones en las que se necesita la carga y descarga automática de obleas, se acopla una tercera cámara de bloqueo de carga a la cara izquierda del cubo para otro bloqueo de carga. En este caso, la cámara principal puede mantenerse en un rango bajo de 10-7 Torr en todo momento y la evaporación puede comenzar sólo unos minutos después de cargar la oblea. La segunda configuración presenta un diseño de cámara grande única que permite pistolas de evaporación por haz electrónico, magnetrones y evaporación térmica montados en la placa base. En esta configuración es posible el recubrimiento de múltiples obleas utilizando un soporte planetario para sustratos.
NANO-MASTER ofrece un sistema de evaporación combinatoria que utiliza enmascaramiento de sustratos y velocidades de evaporación controladas por ordenador para evaporadores de haz electrónico individuales.
OPCIONES
Calentamiento del sustrato hasta 800°C o enfriamiento
Deposición en ángulo oblicuo (GLAD) con rotación
Soporte planetario del sustrato
Sesgo RF/DC del sustrato
Doble fuente de haz electrónico para coevaporación
Fuente de iones para la limpieza del sustrato y la evaporación asistida por iones
Fuentes PVD adicionales (térmica, sputtering)
MFC para evaporación reactiva
Carga/descarga automática
APLICACIONES
Lift Off
Revestimientos ópticos
Transistores de película fina
Capa activa de CIGS
Uniones Josephson
Para ampliar información: info@irida.es
