El NTE-3000 de NANO-MASTER es un sistema de evaporación térmica de sobremesa controlado por PC con una amplia gama de aplicaciones en evaporación orgánica y de metales. Es un sistema de 2kVA que utiliza circuitos SCR para un control preciso de la temperatura, lo cual es crucial cuando se evaporan materiales orgánicos. Está diseñado con sumo cuidado para lograr procesos limpios, uniformes y reproducibles en un espacio reducido. Proporciona capacidades de bajo coste y alta calidad para aplicaciones exigentes en I+D y fabricación a baja escala.
El NTE-4000 es una versión independiente del sistema de evaporador térmico NTE-3000 que ofrece más espacio para opciones adicionales como diversos tamaños de cámara, limpieza y refrigeración de sustratos, coevaporación y capacidades de sputtering.
OPCIONES
Calentamiento del sustrato hasta 800°C o refrigeración de la oblea
Deposición en ángulo oblicuo (GLAD) con rotación
Soporte planetario para sustratos
Módulo de potencia adicional para coevaporación
Hasta seis fuentes de evaporación adicionales
polarización RF/DC
Fuente de iones para limpieza de sustratos
Fuente de magnetrón para sputtering
MFC para sputtering/evaporación reactiva
Carga/descarga automática
Varias opciones de bombeo, incluidas estaciones de criobombeo
APLICACIONES
Metalización en interconexiones de CI
Capa de contacto metálica en aplicaciones CIGS
Transistores de efecto de campo orgánicos
Aplicaciones de células solares de perovskita
OLED
Para ampliar información: info@irida.es
