MW-PECVD Systems
NMP-4000: Sistema MW-PECVD Autónomo
Control total, seguridad avanzada y precisión en deposición
El NMP-4000 de NANO-MASTER es un sistema MW-PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition por microondas) diseñado para la deposición de diamantes monocristalinos y policristalinos, así como otros materiales avanzados como grafeno o CNT.
Este sistema compacto y potente está controlado por PC con software LabVIEW, ofreciendo tres niveles de autorización por palabra clave.
El control automático de recetas, flujos de gas y ciclos de bombeo/ventilación garantiza procesos repetibles, seguros y eficientes.
Características Principales
Precisión y rendimiento en un diseño robusto
- Cámara de acero inoxidable de 14″.
- Fuente de plasma de microondas de 2,5 GHz y 6 kW con acoplador y sintonizador manual.
- Soporte de sustrato de 4″, calentado hasta 1000°C, con rotación de platina.
- MFC y líneas de gas calentadas para un control exacto del flujo.
- Calibradores de amplio rango y pirani para medición precisa de presión.
- Pirómetro de doble longitud de onda para medición de la temperatura de la oblea.
- Paquete de bombeo turbomolecular de 500 l/s.
- Sistema de control totalmente automatizado basado en PC.
- Protección EMO y enclavamientos de seguridad.
- Garantía estándar de un año.
Aplicaciones del MW-PECVD
Innovación en materiales nanoestructurados y cuánticos
- Diamante policristalino.
- Diamante monocristalino.
- Grafeno para electrónica avanzada.
- CNT (Nanotubos de carbono).
- Aplicaciones Qubit en computación cuántica.
- Supercondensadores de nueva generación.
