NANO-MASTER ha desarrollado un MW-PECVD (Microondas-PECVD) para depositar diamantes simples y policristalinos. El NMP-4000 es un sistema MW-PECVD autónomo controlado por PC con software LabVIEW que ofrece tres niveles de autorización de usuario controlados por palabras clave. El sistema está totalmente automatizado e interbloqueado por seguridad. Control automático por PC de recetas, flujos y ciclos de bombeo/ventilación. Las opciones incluyen carga y descarga automáticas, burbujeadores de gas, MFC, etc.
Características
Cámara de acero inoxidable de 14
Fuente de plasma de microondas de 2,5 GHz y 6 kW con acoplador y sintonizador manual
Soporte de sustrato de 4″, calentado hasta 1000°C con rotación de platina
MFC
Líneas de gas calentadas
Calibradores de amplio rango y pirani
Pirómetro de doble longitud de onda para medir la temperatura de la oblea
Paquete de bombeo turbomolecular de 500 l/s
Presión base media de 10-7 torr
Sistema de control totalmente automático basado en PC
Protección EMO y enclavamientos de seguridad
Garantía estándar de un año
Aplicaciones
Diamante policristalino
Diamante monocristalino
Grafeno
CNT
Aplicaciones Qubit
Supercondensadores