MLA 300 Maskless Aligner
OPTIMIZADO PARA LA FABRICACIÓN INDUSTRIAL, GARANTIZANDO UN ALTO RENDIMIENTO Y UNA PERFECTA INTEGRACIÓN EN LA LÍNEA DE PRODUCCIÓN.
El alineador sin máscara MLA 300 ofrece un alto rendimiento, un flujo de trabajo simplificado y la integración con los sistemas de ejecución de fabricación (MES). Esta herramienta se utiliza para la producción de sensores y circuitos integrados de sensores, MEMS y dispositivos microfluídicos. Otras aplicaciones son los componentes electrónicos discretos, los circuitos integrados analógicos y digitales, los ASIC, la electrónica de potencia, las pantallas OLED y el embalaje avanzado.
La MLA 300 alcanza la máxima calidad y precisión óptica. El módulo de exposición estándar alcanza un tamaño de rasgo mínimo de 1,5 µm. Los modos de escritura para un mayor rendimiento y una mayor resolución están en nuestra hoja de ruta. La MLA 300 presenta una automatización completa con opciones de carga personalizables, un software diseñado para entornos de producción y una tecnología patentada de seguimiento de sustratos.
La MLA 300 reduce los costes y el esfuerzo de producción al superar la necesidad de adquisición, verificación y gestión de máscaras. Los costes de funcionamiento se benefician de un láser de exposición de larga duración (aprox. 10 años con una producción de 24 horas al día, 7 días a la semana) y de un menor número de consumibles. La modularidad permite un rápido mantenimiento, sustitución o reparación. El autoenfoque en tiempo real compensa la deformación o las ondulaciones del sustrato para obtener un patrón impecable. La litografía sin máscara permite realizar correcciones de patrones por troquel y la serialización para el seguimiento completo de las características del producto, como la calibración del sensor.
