Termolitografía
NanoFrazor
La herramienta de nanolitografía versátil y modular
El NanoFrazor es un sistema pionero de litografía de sonda de barrido térmico (t-SPL) que abre nuevas posibilidades en dispositivos cuánticos, materiales 1D/2D, fotónica en escala de grises, estructuras nanofluídicas, sustratos biomiméticos y modificaciones locales de materiales mediante calor.
Con más de 20 años de investigación en IBM Research Zürich, el NanoFrazor combina precisión, modularidad y escalabilidad para adaptarse a las necesidades de cada laboratorio o centro de investigación.
Características
Aplicaciones avanzadas
Investigación y desarrollo en múltiples disciplinas
Dispositivos cuánticos: puntos cuánticos, uniones Josephson y puentes Dolan
Materiales 1D/2D con superposición precisa y bajo daño
Fotónica en escala de grises para estructuras 2,5D complejas
Nanofluídica y superficies para biología y ciencias de la vida
Modificación local de materiales mediante calor: reacciones químicas y cambios de fase
Tecnología central
El corazón del NanoFrazor es una punta de sonda ultraafilada y calentable, que permite escribir e inspeccionar simultáneamente las nanoestructuras más complejas.
Características clave:
Imágenes in situ con superposición sin marcadores
Litografía de bucle cerrado (CLL) con precisión vertical < 2 nm
Módulo de sublimación láser directa (DLS) para escribir nano y microestructuras en un solo paso
Plataforma modular y escalable
Adaptable a cada laboratorio o entorno
El NanoFrazor está diseñado como un sistema modular, lo que permite:
Personalización de modos de patrón y opciones de software
Combinación de módulos para optimizar espacio y flexibilidad
Actualizaciones y ampliaciones según evolucionen las investigaciones
Ventajas competitivas
Un nuevo estándar en nanofabricación
Revoluciona la nanofabricación con precisión y control únicos
Acceso a una biblioteca de mejores prácticas y protocolos
Optimización de procesos de grabado, despegue y transferencia de patrones
