Disponemos de varios equipos para efectuar Nanolitografía .

Estos equipos pueden ser utilizados tanto para su investigación científica como en la Industria.

Hay cuatro modelos de NanoFrazor de Heidelberg Instruments. Los cuatro modelos se usan con el software nanofrazor y son capaces de realizar características únicas de nanofrazor como patrones 3D, inspección in situ, superposición sin captura sin marcadores y litografía de bucle cerrado de alta resolución (CLL). Difieren principalmente en el tamaño de la muestra factible, la velocidad de posicionamiento,precisión, el nivel de automatización y la compatibilidad con opciones Add-on como el grabador de láser DLS integrado y la extensión de puntas múltiples Decapede.

NanoFrazor® Scholar para nanofabricación

NanoFrazor® Explore para litografía