La herramienta de nanolitografía versátil y modular
El NanoFrazor es un innovador sistema comercial de litografía de sonda de barrido térmico (t-SPL) que permite la investigación avanzada en diversas áreas de aplicación, como dispositivos cuánticos, materiales 1D/2D, puntos cuánticos, puentes Dolan, uniones Josephson y matrices a nanoescala. Destaca en aplicaciones complejas como la fotónica en escala de grises, las estructuras nanofluídicas, los sustratos biomiméticos para el crecimiento celular y cualquier modificación local de materiales mediante calor, incluidas las reacciones químicas y los cambios físicos de fase.
En su núcleo, el NanoFrazor cuenta con una punta de sonda ultraafilada y calentable que escribe e inspecciona nanoestructuras complejas simultáneamente. El módulo de sublimación láser directa (DLS) permite escribir nano y microestructuras en la misma capa de resina de forma eficaz en un solo paso de fabricación.
Las imágenes in situ permiten dos funciones únicas: la superposición sin marcadores y la comparación de los patrones escrito y objetivo durante la escritura, de forma que los parámetros pueden ajustarse inmediatamente. Este enfoque, denominado litografía de bucle cerrado (CLL), da como resultado una precisión vertical inferior a 2 nm para formas 2,5D (escala de grises) de cualquier complejidad. El control rápido y preciso de una punta calentada a nanoescala permite innovaciones que de otro modo no serían posibles con otras técnicas.
Desarrollado a partir de más de 20 años de I+D en IBM Research Zürich y ahora en Heidelberg Instruments Nano, el NanoFrazor avanza continuamente en hardware y software. Nuestros expertos perfeccionan los procesos de transferencia de patrones, como el grabado y el despegue, para diversas aplicaciones, recopilando la experiencia en una completa biblioteca de mejores prácticas y protocolos para ayudar a nuestros clientes.
Construido sobre una plataforma modular, el NanoFrazor puede adaptarse a aplicaciones y entornos de laboratorio específicos. Se pueden combinar modos de patrón, opciones de alojamiento y módulos de software para optimizar las capacidades, el espacio ocupado y la flexibilidad. Pueden añadirse actualizaciones y módulos adicionales a medida que evoluciona la investigación, lo que garantiza que el NanoFrazor se adapte a las necesidades de cada momento.
El NanoFrazor revoluciona la nanofabricación, haciendo accesible la sofisticada t-SPL para investigaciones y avances tecnológicos revolucionarios.
puede obtener más información y configurar su propio sistema en este enlace
