Sistemas Híbridos
Capacidad Doble, Huella Compacta
Flexibilidad y Eficiencia en un Solo Equipo
La integración de dos cámaras dentro de un único sistema permite duplicar la capacidad de proceso sin aumentar el espacio ocupado en sala limpia.
Además, los costes de operación se reducen al compartir sistemas de bombeo y suministros de energía cuando es posible.
Cada cámara está totalmente aislada mediante válvulas de compuerta, lo que permite:
Bombeo y ventilación de manera individual e independiente.
Transferencia de muestras de cámara a cámara bajo vacío.
Integración de sistemas load-lock individuales para introducir muestras sin exponer la cámara principal.
Modelos disponibles
Los sistemas duales ofrecen la posibilidad de combinar dos tecnologías distintas del catálogo (ALD, Sputtering, Evaporación, E-Beam, Grabado por Haz de Iones, RIE o PECVD).
Esto aporta versatilidad en investigación y prototipado, optimizando tanto espacio como inversión.