Gestión de residuos de obleas
Sistema de destrucción de residuos de obleas
Tiger Shark es un sistema automático de destrucción de obleas. Está dedicado a las obleas que no pasan la prueba final (tecnología flash).
Este equipo destruye las obleas utilizando productos químicos y puede utilizarse también para la destrucción de máscaras, utilizando soluciones específicas.
Este sistema está en versión automática, para 25 obleas de un solo soporte, 8″-12″. Dentro del tanque de proceso, después del tratamiento químico, habrá una fase de enjuague. La solución de grabado se recupera y se almacena en otro tanque, debajo, para su reutilización.
Residuos de obleas
opciones:
Los equipos de destrucción de obleas de desecho están gobernados por PLC y pantalla táctil para gestionar todo el sistema.
El software está desarrollado por ingenieros de SPM con gráficos modernos y con amplias funciones como:
Gestión de recetas
Registro de datos: tiempo real e histórico
Control directo P&I: actuar directamente sobre válvulas y bombas para mantenimiento
Interfaz host SECS-GEM (opcional)
Para ampliar información: info@irida.es
