NanoFrazor® Explore para litografía
HERRAMIENTA DE LITOGRAFÍA DE SONDA DE BARRIDO TÉRMICO CON CAPACIDAD DE SUBLIMACIÓN LÁSER DIRECTA HÍBRIDA Y DE ESTAMPADO EN ESCALA DE GRISES
El NanoFrazor® Explore es la primera herramienta comercial de litografía de sonda de barrido térmica. El NanoFrazor® Explore se utiliza para la nanoimpresión de dispositivos cuánticos en materiales 1D/2D, como puntos cuánticos, puentes Dolan y uniones Josephson, y matrices a nanoescala. Sus capacidades únicas permiten crear nuevos dispositivos en nuevos materiales. Por ejemplo, se utiliza para aplicaciones avanzadas como los dispositivos fotónicos en escala de grises, las estructuras nanofluídicas o los sustratos biomiméticos para el crecimiento celular; la modificación local de los materiales por el calor, por ejemplo, las reacciones químicas y los cambios de fase físicos.
Con el módulo de sublimación directa por láser, las nano y microestructuras se escriben ahora de forma rápida y sin fisuras en la misma capa de resina en un solo paso de fabricación. Las imágenes in situ permiten dos características únicas: la superposición sin marcadores y la comparación de los patrones escritos y los patrones objetivo durante la escritura, de modo que los parámetros pueden ajustarse inmediatamente. Este enfoque, denominado litografía de bucle cerrado, permite obtener una precisión vertical inferior a 2 nm para formas 2,5D (en escala de grises) de cualquier complejidad. El control rápido y preciso de una punta calentada a nanoescala permite una innovación que no sería posible de otro modo.
La tecnología en la que se basa el sistema es el resultado de más de 20 años de intensa investigación y desarrollo (I+D) que comenzó en IBM Research Zürich y que ahora se lleva a cabo en Heidelberg Instruments Nano. El hardware y el software de NanoFrazor® avanzan constantemente para ampliar las capacidades y el rendimiento de la herramienta y su gama de aplicaciones. Nuestro equipo de expertos sigue desarrollando y optimizando los procesos de transferencia de patrones para diferentes aplicaciones. Recopilamos estos conocimientos en una creciente colección de mejores prácticas y protocolos para apoyar a nuestros clientes.
