Litografía directa por láser

Sistemas para Microfabricación

Heidelberg Instruments es líder mundial en el desarrollo y producción de sistemas de fotolitografía de alta precisión, alineadores sin máscara y herramientas de nanofabricación.
Nuestros sistemas están instalados en instalaciones industriales y académicas de todo el mundo. Se utilizan para aplicaciones de escritura directa y producción de fotomáscaras en diversos temas que requieren micro y nanopatrones, como MEMS/NEMS, para semiconductores, computación cuántica, pantallas planas, fotónica, materiales 2D, IoT y muchos más.

Con más de 35 años de experiencia y más de 1.200 sistemas instalados en todo el mundo, Heidelberg Instruments ofrece soluciones de litografía específicamente adaptadas para satisfacer todos sus requisitos de micro y nanofabricación, por muy difíciles que sean.

Estos sistemas son:

Estos equipos son adecuados para las siguientes APLICACIONES: 

  • DISPOSITIVOS CUÁNTICOS. UNA MEGATENDENCIA CON GRANDES EXIGENCIAS A LA LITOGRAFÍA

Las actividades de investigación y desarrollo de dispositivos cuánticos están creciendo fuertemente y a un ritmo rápido en todo el mundo. Los futuros dispositivos cuánticos prometen revolucionar la computación, la detección y la comunicación de datos. Los prototipos y las ideas para los dispositivos cuánticos son muy diversos y se basan en una gran variedad de partículas y cuasipartículas en función de sus propiedades específicas y su interacción.

  • MATERIALES 1D Y 2D. LITOGRAFÍA DE BAJO DAÑO CON SUPERPOSICIÓN DE ALTA PRECISIÓN EN MATERIALES SENSIBLES 1D Y 2D

Los dispositivos fabricados con materiales 1D y 2D suelen presentar una física interesante con numerosas ventajas. Sin embargo, las impurezas y los defectos pueden limitar el rendimiento de los dispositivos fabricados con dichos materiales.

  • MICROFLUÍDOS. LITOGRAFÍA DE ALTA RELACIÓN DE ASPECTO EN MICROFLUIDOS

El estudio de la microfluídica se utiliza para reproducir reacciones químicas del mundo real o permitir la detección de las cantidades más pequeñas de sustancias. Un ejemplo perfecto es el «lab-on-a-chip», en el que las reacciones químicas o biológicas se observan a microescala, lo que aumenta la eficacia y permite la aplicación en condiciones restringidas/controladas. Otros ejemplos son los chips microfluídicos que sirven de sensores o los «bio-chips» que se utilizan para el análisis de proteínas/ADN o para el diagnóstico de muestras de sangre microscópicas.

  • CIENCIA DE LOS MATERIALES. LITOGRAFÍA PARA NUEVOS MATERIALES

A medida que las dimensiones del patrón y del dispositivo se reducen, las propiedades del material cambian en función del tamaño y la forma. La litografía de escritura directa es una técnica muy flexible para modificar y dar forma a los materiales a nano y microescala con el fin de estudiar y controlar una gran cantidad de propiedades físicas.

La litografía láser de escritura directa puede utilizarse para crear patrones, estructuras y texturas a microescala, así como contactos para dispositivos electrónicos y mediciones. La litografía de sonda de barrido térmico puede utilizarse de forma similar en la nanoescala, con la capacidad añadida de poder iniciar directamente diversas modificaciones del material mediante el calentamiento local. Además, se pueden alcanzar algunos estados de la materia que no son accesibles macroscópicamente gracias al calentamiento y enfriamiento ultrarrápidos y a la alta presión local que se puede aplicar con la punta calentada a nanoescala del NanoFrazor.


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