EL GENERADOR DE IMAGEN DIRECTA SIN MÁSCARA VPG 300 DI PARA MICROESTRUCTURAS DE ALTA PRECISIÓN Y RESOLUCIÓN
l VPG 300 DI es un generador de patrones de volumen especialmente diseñado para la escritura directa de microestructuras de alta resolución en resistivos i-line. Derivado de la herramienta de fabricación de máscaras, incorpora todos los componentes avanzados del sistema VPG+ para poder escribir con la máxima precisión y exactitud. El área máxima de escritura cubre una oblea de 300 mm.
El sistema VPG 300 DI se utiliza principalmente en investigación y desarrollo académico e industrial, donde se requiere una gran flexibilidad y características inferiores a 2 µm. Este sistema satisface las necesidades de diversas aplicaciones, como la creación de prototipos de productos, MEMS, la combinación con otras herramientas y la escritura de estructuras con tamaños de troquel casi ilimitados. Las prestaciones de la VPG 300 DI son comparables a las de una máquina de modelado i-line basada en máscara que se utiliza tradicionalmente para estas aplicaciones, al tiempo que ofrece las ventajas de una tecnología de modelado sin máscara.
Al igual que la VPG+, la VPG 300 DI se basa en el mismo motor óptico de exposición ultrarrápida de eficacia probada. Sin embargo, va un paso más allá al incorporar componentes de sistema avanzados adicionales, como una platina Zerodur®, un interferómetro diferencial y varias opciones de metrología, alineación y manipulación de obleas.
Esta combinación de rendimiento, ventajas tecnológicas y componentes convierte a la VPG 300 DI en la opción ideal para investigadores y desarrolladores que buscan capacidades de fabricación de microestructuras precisas y eficientes.