Medir el espesor de películas delgadas es una de las métricas más desafiantes y críticas en cualquier proceso de recubrimiento. Ensayos destructivos pueden utilizarse para medir el espesor de una película de una muestra representativa, sin embargo (además de la inconveniencia de un producto roto), el método de rotura puede afectar a la medición (una herramienta de corte puede comprimirlo, o se puede laminar). Es preferible una muestra ópticas no destructiva,  pero comprar una herramienta separada para estas mediciones resulta caro para la mayoría laboratorios pequeños y pymes por lo que la combinación de un espectrómetro con un perfilador óptico sería la solución ideal.

Zeta Film Thickness (ZFT)L

Las opciones  Zeta Film Thickness de  all Zeta3D™ models para esto son:

Zeta Film Thickness (ZFT)

BENEFICIOS DE LA OPCIÓN ZFT DE ZETA

  • Capacidad de herramienta adicional sin el coste o la sobrecarga del espacio de suelo
    * Funciona bien en muestras  que no son uniformes en el grosor de película
    * Puede medir películas de espesor superior a 30 nm y hasta 100 micras de grosor
    * Las imágenes en color verdadero Zeta3D proporcionan valiosa información de topografía de superficie en la misma localización.
  • Se reduce la inversión
  • Disminución del espacio de las herramientas de metrología
    • Mejora la productividad
    • Una única estación de metrología (Perfilómetro Optico + Film Spectrometer)
    • Reducción de costes
    • Reducción de piezas y costes laborales
 Los retos de la industria abordados por ZFT

* Muchas herramientas separadas para completar las mediciones
* Pruebas destructivas
* Datos de localización inexactos
* Conveniencia
* Velocidad lenta
* Sin ahorro de costes
  • Tecnología

  • La opción ZFT (Zeta Film Thickness) del Zeta3D ™ Optical Profilers es un reflectómetro espectroscópico de banda ancha basado en luz blanca capaz de medir el espesor de película multi-pila o los valores n & K si se conoce el grosor. Utiliza una fuente de luz, una trayectoria óptica y una cámara comun, de modo que las medidas de espesor de la película se encuentren en la misma posición que las mediciones del perfil de superficie 3D

    Learn more about ZFT technology.

    Mostramos a continuación un indicador gráfico de una imagen en directo que muestra claramente al usuario donde se está tomando la medición de espesor de película.

    Specifications

    • Non-contact white light reflectometer
      • Spectral range: 430nm-750nm
      • Spectral resolution: 1 nm
      • Library of n and K values for over 200 materials
      • Prediction of n and K values if film thickness is known
    • Can handle rough surfaces such as solar cells
    • 3D film thickness maps on large samples
    • Film and Topography information at the same location
    • Fast scan time and user friendly GUI
    • Integrated spectrometer reduces overall metrology cost

    Transparent or semi-transparent films

  • Más información en : http://zeta-inst.com/applications/thin-film-thickness-spectrometer