WEBINAR Advancements in 2D Materials’ Characterization via ISE

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Los elipsómetros espectroscópicos de imagen (ISE) combinan las ventajas de la elipsometría y la microscopía óptica en un solo dispositivo. La unificación de ambas tecnologías da lugar a una herramienta de metrología única que redefine los límites tanto de las mediciones elipsométricas como de la microscopía de contraste de polarización. La resolución espacial mejorada de los elipsómetros de imagen amplía la elipsometría a nuevas áreas de microanálisis, microelectrónica y bioanálisis. La elipsometría de imagen es una técnica de metrología totalmente óptica y sin contacto que destaca en la caracterización del espesor de las capas y los materiales de muestras y sustratos de película fina microestructurados.
En el campo de la caracterización de materiales 2D, la elipsometría espectroscópica de imagen permite determinar las propiedades ópticas [1],[2],[3]. Estos datos son necesarios para comprender mejor los dispositivos basados en materiales 2D [4],[5].
Desde un punto de vista macroscópico, las micrografías de contraste elipsométrico o los mapas microscópicos de Delta y Psi pueden unirse y ofrecer una imagen rápida, sin contacto, a escala de oblea y con resolución atómica de los materiales 2D [6] en una variedad de sustratos. Incluyendo mapas registrados en diferentes longitudes de onda, se informó de una búsqueda específica de microcristales con un número determinado de capas o un espesor predefinido. Estudios recientes también muestran la posibilidad de obtener imágenes de capas enterradas [7]. La charla se centrará en las aplicaciones de la elipsometría de matriz de Müller para la caracterización de microcristales anisotrópicos. Se registraron micrografías de 11 elementos de la matriz de Müller, normalizadas al elemento 1, a diferentes longitudes de onda y orientaciones para diferentes microcristales como el fósforo negro o el Bi2SeO5 (fig. 1).