Litografia por Haz de Láser

La fotolitografía tradicional requiere la fabricación o compra de una fotomáscara y el uso de un alineador paso a paso o máscara para transferir el patrón CAD a la oblea o placa cubierta con resistencia. En este momento, el bien establecido proceso de fotomask es, de hecho, la única forma factible para la fabricación de