El VPG 300 DI es un generador de patrones de volumen especialmente diseñado para la escritura directa de microestructuras de alta resolución en resistivos i-line. Derivado de la herramienta de fabricación de máscaras, incorpora todos los componentes avanzados del sistema VPG+ para poder escribir con la máxima precisión y exactitud. El área máxima de escritura cubre una oblea de 300 mm.

Se utiliza principalmente en investigación y desarrollo académico e industrial, donde se requiere una gran flexibilidad y características inferiores a 2 µm. Sus prestaciones son comparables a las de una máquina de modelado i-line basada en máscara, con todas las ventajas de la litografía sin máscara.

El sistema está equipado con componentes de alta gama que garantizan exactitud y fiabilidad:

• Platina Zerodur® para máxima estabilidad térmica
• Interferómetro diferencial para posicionamiento preciso
• Opciones avanzadas de metrología y alineación
• Módulos de manipulación de obleas