WORKSHOP -Maskless Direct Writing and 3D Lithography: Capabilities and Applications
Workshop 3D Lithography April 2022
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- - Microscopía Electrónica
- - Plataforma de de terahercios para materiales, películas finas y 2D
- Litografía
- - Litografía directa por láser
- - - Escritor láser directo de sobremesa µMLA
- - - Escritor láser directo I+D MLA150
- - - MLA 300 Maskless Aligner
- - - VPG 300 DI Maskless i-liner
- - - Escritor de Máscaras para semiconductores – Sistema ULTRA
- - - Generador de Patrones de Volumen – VPG+ 200 / VPG+400
- - - Generador de Patrones de Volumen – VPG+ 800 / VPG+1400
- - Litografía por electrones
- - Litografía 2.5D y 3D
- - Termolitografía Litografía de sonda térmica
- - Litografía directa por láser
- Semiconductores
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- - Crecimiento
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- - Procesamiento
- - Limpieza
- - Etching (grabado)
- - Tratamiento Térmico
- - Pulido y Lapeado
- - Unión de obleas – Bonding
- - Back End
- - - Sistemas de soldadura Back-End
- - - inCiTe™ 3D X-ray Microscope
- - - Corte y serrado
- - - Sistemas de soldadura por reflujo
- - - Sistema de suministro de productos químicos
- - - Gestión de residuos químicos
- - - Sistemas de premezcla
- - - Producción de agua desionizada
- - - Gestión de residuos de obleas
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