Maskless Aligner de sobremesa µMLA
MASKLESS ALIGNER DE SOBREMESA CONFIGURABLE Y COMPACTO CON MÓDULOS DE EXPOSICIÓN RASTER Y VECTORIAL
El sistema µMLA de sobremesa es lo más avanzado en MASKLESS ALIGNER, construido sobre la reconocida plataforma µPG, el sistema sin máscara de sobremesa más vendido en todo el mundo. Es una herramienta de investigación y desarrollo (I+D) perfecta para prácticamente cualquier aplicación que requiera microestructuras. Algunos ejemplos típicos son la microfluídica (dispositivos de clasificación celular, lab-on-a-chip), la escritura con máscara a pequeña escala, la microóptica y las matrices de microlentes, los sensores, los MEMS, el contacto con materiales 2D y los electrodos en abanico, etc.
El µMLA es una herramienta flexible y personalizable, y ofrece dos modos de exposición. El µMLA estándar utiliza el modo de exposición Raster Scan para las exposiciones, que es rápido y proporciona una excelente calidad y fidelidad de imagen, mientras que el tiempo de escritura es independiente del tamaño de la estructura de la densidad del patrón. El modo opcional de escaneo vectorial está diseñado para el patronaje de curvas continuas y suaves, como las guías de ondas, de forma más rápida y precisa. Hay tres configuraciones ópticas que permiten elegir la resolución y el rendimiento variables. Cada una de ellas permite cambiar fácilmente entre diferentes configuraciones de resolución y velocidad para optimizar la exposición para una aplicación determinada. El modo de dibujo permite realizar modificaciones ad hoc en las estructuras existentes y en los contactos eléctricos con nanocables o materiales 2D. Gracias a su reducido tamaño, el µMLA cabe en una mesa normal.
