Fabricación de Fotomáscaras – Equipos para Semiconductores
Heidelberg Instruments es líder mundial en el desarrollo y producción de sistemas de fotolitografía de alta precisión, alineadores sin máscara y herramientas de nanofabricación.
Nuestros sistemas están instalados en instalaciones industriales y académicas de todo el mundo. Se utilizan para aplicaciones de escritura directa y producción de fotomáscaras en diversos temas que requieren micro y nanopatrones, como MEMS/NEMS, para semiconductores, computación cuántica, pantallas planas, fotónica, materiales 2D, IoT y muchos más.
Con más de 35 años de experiencia y más de 1.200 sistemas instalados en todo el mundo, Heidelberg Instruments ofrece soluciones de litografía específicamente adaptadas para satisfacer todos sus requisitos de micro y nanofabricación, por muy difíciles que sean.
Estos sistemas son:
- Semiconductor Mask Writer – ULTRA
- VPG+ 200 / VPG+ 400 Volume Pattern Generators
- VPG+ 800 / VPG+ 1400 Volume Pattern GeneratorS
- Sistema VPG 300 DI (irida.es)
ESTOS EQUIPOS SON ADECUADOS PARA LAS SIGUIENTES APLICACIONES:
- MICROFLUIDOS. LITOGRAFÍA DE ALTA RELACIÓN DE ASPECTO
El estudio de la microfluídica se utiliza para reproducir reacciones químicas del mundo real o permitir la detección de las cantidades más pequeñas de sustancias. Un ejemplo perfecto es el «lab-on-a-chip», en el que las reacciones químicas o biológicas se observan a microescala, lo que aumenta la eficacia y permite la aplicación en condiciones restringidas/controladas. Otros ejemplos son los chips microfluídicos que sirven de sensores o los «bio-chips» que se utilizan para el análisis de proteínas/ADN o para el diagnóstico de muestras de sangre microscópicas.