La gama MiniLab de Moorfield: Sistemas de PVD flexibles y modulares para I+D de alta calidad y producción a escala piloto

MiniLab 125

Las herramientas MiniLab 125 llevan el concepto modular al nivel de escala piloto. Las grandes cámaras permiten aumentar el tamaño de los conjuntos de componentes para el revestimiento de grandes áreas, y una serie de opciones de bloqueo de carga permiten un funcionamiento de alto rendimiento. Al mismo tiempo, los sistemas son totalmente personalizables para adaptarse a aplicaciones específicas

técnicas:
Evaporación térmica, evaporación térmica a baja temperatura (LTE), evaporación por haz de electrones, sputtering por magnetrón
Los sistemas MiniLab 125 son evaporadores de vacío de pie para la deposición de películas finas metálicas, dieléctricas y/o orgánicas. Todos los sistemas contienen una cámara de acero inoxidable tipo caja con una puerta frontal para la carga/descarga. Los grandes volúmenes de las cámaras permiten utilizar grandes fuentes para el recubrimiento a escala piloto o múltiples técnicas para una herramienta flexible de I+D. Los sistemas están disponibles equipados con las principales técnicas de deposición y etapas personalizadas para sustratos específicos.

Los sistemas de bombeo turbomolecular son estándar, para presiones de base de alto vacío superiores a 5 × 10-7 mbar. La configuración exacta es extremadamente flexible y depende del presupuesto y las aplicaciones del cliente.

MiniLab 090

Los sistemas MiniLab 090 son compatibles con la caja de guantes para aplicaciones sensibles a la atmósfera. Las cámaras altas son ideales para la evaporación de alto rendimiento, pero también está disponible el sputtering por magnetrón.

Técnicas:
Evaporación térmica, evaporación térmica a baja temperatura (LTE), evaporación por haz de electrones, sputtering por magnetrón
Los sistemas MiniLab 090 son herramientas de PVD de pie para la deposición de metales, dieléctricos y/o orgánicos. Todos los sistemas contienen una cámara de acero inoxidable de tipo caja con puertas delanteras y traseras para la integración de la caja de guantes (permite tanto el acceso a través de la caja de guantes como el acceso de servicio externo).

La cámara tiene una alta relación de aspecto, ideal para largas distancias de trabajo para el recubrimiento de alta uniformidad a través de técnicas evaporativas, pero los sistemas también pueden ser equipados con sputtering de magnetrón. Un sistema de bombeo turbomolecular es estándar, para presiones de base de alto vacío mejores que 5 × 10-7 mbar. La configuración exacta es extremadamente flexible y depende de los presupuestos y las aplicaciones del cliente. Las configuraciones van desde un sistema de evaporación térmica operado manualmente hasta una herramienta multitécnica con control de proceso totalmente automatizado.

MiniLab 080

Los sistemas MiniLab 080 ofrecen cámaras altas ideales para las técnicas de evaporación térmica, LTE y e-beam que requieren mayores distancias de trabajo para una óptima uniformidad.

Técnicas:
Evaporación térmica, evaporación térmica a baja temperatura (LTE), evaporación por haz de electrones, sputtering por magnetrón
La configuración estándar del MiniLab 080 incluye una bomba turbomolecular situada en un puerto ISO160 en la parte trasera de la cámara de vacío. La cámara de vacío se asienta sobre un bastidor de doble soporte que contiene toda la electrónica de control del sistema y las fuentes de alimentación. Los sistemas MiniLab 080 están disponibles con bloqueos de carga; solicite información al respecto.

Las herramientas son ideales para las técnicas de evaporación en las que se requieren largas distancias de trabajo para obtener la mejor uniformidad, y en las que los ángulos de incidencia del evaporante cercanos a 90° permiten obtener resultados óptimos para las aplicaciones de despegue. Sin embargo, además de la evaporación térmica, LTE y por haz de electrones, las herramientas también pueden equiparse para el sputtering por magnetrón (normalmente como sistema multitécnico).

Las etapas de sustrato, normalmente en la parte superior de la cámara, pueden acomodar tamaños de sustrato de hasta 11″ de diámetro. Se dispone de calentamiento de sustrato, rotación, polarización y desplazamiento Z, junto con etapas planetarias y obturadores de fuente y sustrato. Las configuraciones van desde un sistema de evaporación térmica operado manualmente hasta una herramienta multitécnica con control de proceso totalmente automatizado.

MiniLab 060

La plataforma más popular de nuestra gama MiniLab, los sistemas MiniLab 060 tienen cámaras de tipo caja de carga frontal ideales para el sputtering de múltiples fuentes de magnetrón, pero también para la evaporación térmica y de haz electrónico.

Técnicas:
Evaporación térmica, evaporación térmica a baja temperatura (LTE), evaporación por haz de electrones, sputtering por magnetrón
La configuración estándar del MiniLab 060 incluye una bomba turbomolecular situada en un puerto ISO160 en la parte trasera de la cámara de vacío. La cámara de vacío se asienta sobre un bastidor de doble soporte que contiene toda la electrónica de control del sistema y las fuentes de alimentación. Los sistemas MiniLab 060 están disponibles con bloqueos de carga; póngase en contacto con nosotros para obtener más información.

Las herramientas pueden estar equipadas con una amplia variedad de técnicas de deposición, incluyendo fuentes de evaporación térmica y de baja temperatura (para metales y orgánicos), cátodos de sputtering de magnetrón (para metales e inorgánicos), y fuentes de haz de electrones (para la mayoría de las clases de materiales excepto los orgánicos). Las fuentes de deposición suelen montarse en la placa base de la cámara, pero también existen configuraciones de sputter down.

Las etapas de sustrato, normalmente en la parte superior de la cámara, pueden acomodar tamaños de sustrato de hasta 11″ de diámetro. Se dispone de calentamiento de sustrato, rotación, polarización y desplazamiento Z, junto con etapas planetarias y obturadores de fuente y sustrato. Las configuraciones van desde un sistema de evaporación térmica operado manualmente hasta una herramienta multitécnica con control de proceso totalmente automatizado.

MiniLab 026

Los sistemas MiniLab 026 son evaporadores al vacío compactos de pie con cámaras de fácil acceso tipo «concha de almeja». Adecuados para la deposición de metales, dieléctricos y orgánicos mediante técnicas de evaporación y sputtering.

écnicas:
Evaporación térmica, evaporación térmica a baja temperatura (LTE), sputtering de magnetrón
Las herramientas del MiniLab 026 incluyen una bomba turbomolecular situada en un puerto ISO100 en la parte trasera de la cámara de vacío. La base de la cámara de vacío se asienta, como un pozo, en el marco de soporte. La tapa de la cámara puede ser una tapa de acero inoxidable de tipo sombrero (es decir, para una disposición de la cámara de tipo «concha de almeja»), o un frasco de campana – similar al Edwards E306. Los sistemas pueden estar equipados con una amplia variedad de técnicas de deposición.

Las técnicas incluyen fuentes de evaporación térmica y de baja temperatura (para metales y orgánicos), y fuentes de sputtering de magnetrón (para metales e inorgánicos). Las fuentes de deposición suelen montarse en la placa base de la cámara. Las etapas de sustrato se apoyan en el techo y pueden acomodar una gama de tamaños de sustrato de hasta 6″ de diámetro. Están disponibles el calentamiento del sustrato, la rotación y el desplazamiento en Z. El MiniLab 026 también es compatible con la caja de guantes y es el único sistema de la gama MiniLab que puede adaptarse fácilmente a una caja de guantes existente.