RTP/VPO
Hornos de Proceso Térmico Rápido y de Vacío
Rapid Thermal Process Ovens/Vacuum Process Ovens
En UniTemp estamos especializados en el desarrollo de sistemas de recocido térmico rápido (RTP), diseñados principalmente para I+D.
Ofrecemos diferentes modelos que se adaptan a las necesidades de cada cliente, desde aplicaciones estándar hasta entornos de alto vacío y ramp-up rates muy elevados.
Modelos disponibles
RTP-100
Ramp-up hasta 150 K/sec
RTP-100-EP
Ramp-up hasta 200 K/sec
RTP-100-HV
High Vacuum, hasta 150 K/sec
RTP-100-HV-EP
High Vacuum, hasta 200 K/sec
RTP-150
Ramp-up hasta 75 K/sec
RTP-150-EP (NEW)
Ramp-up hasta 150 K/sec
RTP-150-HV
High Vacuum, hasta 75 K/sec
RTP-200 (NEW)
Para obleas de 200 mm (8″) o M10 182×182 mm solar wafer
VPO-300
Apertura vertical automática, vacío hasta 10E-6 hPa (opcional)
VPO-300-HV
Versión de alto vacío
