En los últimos años el desarrollo de sistemas microelectromecánicos (MEMS) ha sufrido un importante incremento en diferentes campos de aplicación.

Especial interés tienen los sistemas microfluídicos, pequeños sistemas que permiten el control con precisión de pequeñas cantidades de líquidos. Estos dispositivos han servido como estimulante para una gran variedad de nuevas aplicaciones en el campo de la biotecnología. Los sistemas microfluídicos utilizados en este campo poseen canales, pocillos y otro tipos de estructuras fabricadas en diferentes materiales como silicio, vidrio o polímeros.

El control de estos dispositivos es una parte importante en su fabricación. Los nuevos perfilómetros ópticos de Zeta Instruments con tecnología patentada Z-Dot permiten obtener de forma extremadamente rápida una imágen de este tipo de dispositivos así como realizar la metrología de forma sencilla. Además:

1. Ver a través de capas transparentes para obtener la imagen de pocillos y canales.

2. Realizar medidas de dimensiones desde las sub-micras hasta milímetros.

3. Trabajar con superficies muy rugosas y poco reflectantes.

Con la exclusiva tecnología de los perfilómetros ópticos de Zeta Instruments es posible realizar medidas con precisión de canales y pocillos de sistemas microfluídicos incluso estando éstos encapsulados.

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