ps8Probe Shuttle (PS8)

Prober Shuttle es nuestra última herramienta para nanoprobing eléctrico in situ de alta precisión en el nodo de tecnología de 14 nm, ¡y más ! Para hacer realidad nuestra visión de este producto, desarrollamos un manipulador ultraplano de tres ejes con una estabilidad y precisión inigualables: el MM4. El Prober Shuttle puede estar compuesto por hasta ocho MM4 con la opción de un subestrato ultraplano de dos o tres ejes.

La altura total del sistema es de 10 mm, lo que lo hace compatible con una amplia gama de  SEM y, por lo tanto, lo ayuda a lograr un mayor rendimiento de la muestra. El Prober Shuttle también ofrece capacidad de medición de baja corriente y baja capacidad y es totalmente compatible con el conjunto de hardware y software de herramientas de sondeo avanzadas, incluidos los módulos de imágenes Live Contact Tester y Electron Beam Induced Current.

ps4Probe Shuttle (PS4)

Prober Shuttle es nuestra última herramienta para nanoprobing eléctrico in situ de alta precisión. Para hacer realidad nuestra visión de este producto, desarrollamos un manipulador ultraplano de tres ejes con una estabilidad y precisión inigualables: el MM4. El Prober Shuttle puede estar compuesto por dos o cuatro MM4 con la opción de un subestrato ultraplano de dos o tres ejes.

La altura total del sistema es de 9 mm, lo que lo hace compatible con una amplia gama de bloqueos de carga SEM y, por lo tanto, lo ayuda a lograr un mayor rendimiento de la muestra. El Prober Shuttle también ofrece capacidad de medición de baja corriente y baja capacidad y es totalmente compatible con el conjunto de hardware y software de herramientas de sondeo avanzadas, incluidos los módulos de imágenes Live Contact Tester y Electron Beam Induced Current.

Advanced Probing Tools

Módulo de enfoque de punta segura/ Safe Tip Approach Module

El módulo STA es un sensor de corriente de túnel para el sistema de nanoprobing Prober Shuttle. Mejora las herramientas de sondeo avanzadas al proporcionar un método simple, acelerado y seguro para acercarse a la superficie de las muestras conductoras.El STA reduce en gran medida el riesgo de dañar la punta de la sonda y la muestra al acercarse a una región de interés, incluso para usuarios sin experiencia. También ofrece una valiosa reducción de tiempo, lo que aumenta el rendimiento.

MM3A-EM Probe Station

La estación de sondas MM3A-EM comprende hasta ocho micromanipuladores MM3A-EM combinados con nuestra subespana de largo alcance con 30 mm de recorrido en X e Y. La subestación puede equiparse opcionalmente con codificadores posicionales que producen una repetibilidad de 50 nm. Otra opción es agregar un eje Z con un rango de 3 mm.La plataforma completa se puede montar en el escenario del SEM en unos pocos minutos y se puede quitar con la misma facilidad para que el microscopio vuelva a su estado anterior.Los micromanipuladores MM3A-EM están equipados con capacidad de medición de baja corriente y baja capacidad y son totalmente compatibles con el conjunto de hardware y software de herramientas de sondeo avanzadas, incluidos los módulos de imágenes de corriente inducida por haz de electrones y contacto directo, entre otros.La plataforma también puede equiparse con una etapa de calentamiento para temperaturas de hasta 450 ° C. Otras personalizaciones están disponibles bajo pedido (e, g, iluminación LED integrada).

NanoWorkstation

El desafío actual en el campo de la microscopía es agregar la función ‘mano’ al microscopio electrónico para permitir la manipulación física y la caracterización a micro y nanoescala. La NanoWorkstation es un sistema potente y dedicado que realiza tales tareas con facilidad y puede integrarse en la mayoría de los SEM y FIB disponibles comercialmente.La NanoWorkstation hace que la manipulación de alta gama sea práctica y asequible para laboratorios industriales y de investigación, lo que le permite seguir siendo competitivo en un mundo donde las dimensiones críticas ahora están en el rango de nanómetros. El sistema basado en módulos ofrece una gran versatilidad, brindándole la flexibilidad de realizar numerosas aplicaciones especializadas diferentes simplemente cambiando la herramienta unida al frente del manipulador, ya sea que se mueva, ensamble, prepare, gire, empuje, pruebe, sienta, escuche , apasionante o cualquier otra tarea que puedas imaginar

Para ampliar información: info@irida.es