Sistemas de producción de manuales a automáticos
SERIE AFIXX
Tamaños de oblea desde piezas hasta Ø200 mm (Ø8 pulgadas)
Adecuada para obleas frágiles muy finas (< 40 μm) y materiales plásticos flexibles.
Compatible con materiales de silicio, compuestos y vidrio
El proceso de montaje uniforme y repetible es ideal para CMP, esmerilado, pulido y grabado.
El material de unión temporal mroBOND L1.1.DS son revestimientos orgánicos que permiten el procesamiento back-end-of-line (BEOL) de obleas ultrafinas utilizando equipos de semiconductores estándar.
MONTAJE EN DIFERENTES TIPOS DE SUSTRATOS PORTADORES: VIDRIO, ZAFIRO, SILICIO O CERÁMICA.
Diseñado para ser utilizado en aplicaciones
ADHESIÓN TEMPORAL
AFIXX 22a
(Ø200mm) Sistema automático con
placa de cocción y estaciones de E/S.
AFIXX 20s
(Ø200mm) Sistema semiautomático
con placa de cocción de 200ºC.
AFIXX 20m
(Ø200mm) Sistema manual con placa de cocción de 200ºC.
