Sistemas de producción de manuales a automáticos
DEFIXX-SERIES
Tamaños de oblea desde piezas hasta Ø300 mm (Ø12 pulgadas)
Calentadores incrustados en las obleas y placas de soporte
Compatible con materiales de silicio, compuestos y vidrio
Utilizable con una amplia gama de materiales de despegado
Es una herramienta versátil que resulta ideal para muchas aplicaciones de despegado de obleas en I+D y para la producción de bajo volumen.
DESMONTAJE DE OBLEAS ESMERILADAS, ADELGAZADAS Y PULIDAS.
Diseñada para ser utilizada en aplicaciones
DEBONDING
DEFIXX 20a
(Ø200mm) Sistema automático con carga y descarga robotizada. (casete a casete)
DEFIXX 20s
(Ø200mm) Sistema semiautomático con estación de carga y descarga manual.
DEFIXX 30m
(Ø300mm) Sistema manual con calentadores incrustados en las placas de oblea y de soporte.
DEFIXX 15m
(Ø150mm) Sistema manual con calentadores incrustados en las placas de oblea y de soporte.