SERIE UNIXX

Los módulos de barnizadora, reveladora, temperatura y smartEBR están disponibles como configuraciones independientes, de sobremesa o montadas en banco.
El diseño de la base permite varias configuraciones de módulos de proceso.
Oblea redonda de hasta Ø300 mm (Ø12 pulgadas)
Tamaño de sustrato cuadrado de hasta 230 x 230 mm (9 x 9 pulgadas)
Nuestra gama de productos también ofrece sistemas de procesamiento individuales personalizados para sustratos grandes de hasta 1.300 x 1.300 mm (51 x 51 pulgadas).

Subsistemas opcionales; sistemas de dispensación PR (bombas, jeringa o CPD).

* SPIN COATER – CCP

Designed to be used in applications:
SPIN  COATING with Covered Chuck Processor (CCP)

UNIXX S760+
(21×21 inch) Stand-alone system
spin coater for large substrates.

UNIXX SA30+
(Ø300mm) Sistema autónomo con
plato cubierto para el revestimiento. (bastidor de base simple)

UNIXX SHp22+
(Ø200mm) Stand-alone system with
covered chuck spin coater & hotplate module.

* SPIN COATER – open bowl

Diseñado para ser utilizado en aplicaciones:
SPIN COATING con cubeta abierta para recubrimiento estándar.

UNIXX SA30
(Ø300mm) Sistema autónomo con
barredora de cuba abierta. (bastidor de base simple)

UNIXX SHp22
(Ø200mm) Sistema autónomo con
con un módulo de barnizadora de cuba abierta y una placa caliente.

* DESARROLLO

Diseñado para ser utilizado en aplicaciones
REVELADO, LIMPIEZA Y SECADO

UNIXX D20 Avanzado
(Ø200mm) Sistema autónomo con anillo salpicadero móvil para la carga y descarga manual de sustratos individuales.

UNIXX D30 Estándar
(Ø300mm) El sistema autónomo proporciona a los usuarios
en la ciencia y la investigación con un sistema productivo, seguro y limpio

* EBR

Diseñado para ser utilizado en aplicaciones
smartEBR para limpiar el borde en obleas planas o con muescas.

UNIXX EBR A20
(200x200mm) Sistema smartEBR autónomo (marco de base único)

* HOTPLATES

Diseñados para ser utilizados en aplicaciones
SOFTBAKE (PRE-COCCIÓN), HARDBAKE,
OPCIONAL PARA HMDS (HEXAMETILDISILAZANO): IMPRIMACIÓN AL VAPOR, SECADO AL VACÍO

UNIXX H1403
(40×40 pulgadas) Sistema de placa caliente independiente con 3 módulos de placa caliente hasta sustratos de 1.000 x 1.000mm.

UNIXX H760
(21×21 pulgadas) Sistema de placa caliente independiente de hasta 537 x 537 mm o sustratos rectangulares personalizados.

UNIXX He45
(Ø450mm) Sistema de placa de cocción independiente para sustratos redondos o cuadrados de hasta 320 x 320mm
cuadrados.

UNIXX HvA20
(Ø200mm) Sistema de placa caliente independiente para el cebado HMDS y la cocción de deshidratación al vacío.
(disponible de sobremesa o de sobremesa)

UNIXX HeT20
(Ø200mm) Herramienta de mesa con pasadores de elevación de accionamiento electrónico.
(o montado en un banco)

UNIXX HpT20
(Ø200mm) Herramienta de mesa con pasadores de elevación de accionamiento neumático.
(o montado en un banco)

* RECUBRIMIENTO POR PULVERIZACIÓN

Diseñado para ser utilizado en aplicaciones
SPRAY COATING para todas las topografías y formas.

SISTEMA DE RECUBRIMIENTO POR SPRAY 3D y 2D para superficies planas, cóncavas o convexas

Para dispositivos ópticos de gran tamaño y sustratos de hasta 21 «x 21».
Sistema de robot de 6 ejes y hasta 2 boquillas de pulverización ultrasónicas
Plato calefactor integrado bajo la zona de recubrimiento por pulverización
MÓDULO SPRAY COATER para superficies con estructura topográfica

Tamaño de la oblea hasta Ø 300 mm (Ø12″)
El módulo puede instalarse en sistemas automáticos
Subsistemas opcionales; sistemas de dispensación PR (bombas y jeringa)

UNIXX SP 760
(21×21 inch) Spray coater system with integrated heating chuck for large substrates.

UNIXX SP H22
(Ø200mm) Sistema de pulverización con módulo de placa caliente.

UNIXX SP B20
(Ø200mm)
Módulo de pulverización de sobremesa.