SERIE UNIXX
Los módulos de barnizadora, reveladora, temperatura y smartEBR están disponibles como configuraciones independientes, de sobremesa o montadas en banco.
El diseño de la base permite varias configuraciones de módulos de proceso.
Oblea redonda de hasta Ø300 mm (Ø12 pulgadas)
Tamaño de sustrato cuadrado de hasta 230 x 230 mm (9 x 9 pulgadas)
Nuestra gama de productos también ofrece sistemas de procesamiento individuales personalizados para sustratos grandes de hasta 1.300 x 1.300 mm (51 x 51 pulgadas).
Subsistemas opcionales; sistemas de dispensación PR (bombas, jeringa o CPD).
UNIXX SA30
(Ø300mm) Sistema autónomo con
barredora de cuba abierta. (bastidor de base simple)
UNIXX SHp22
(Ø200mm) Sistema autónomo con
con un módulo de barnizadora de cuba abierta y una placa caliente.
* DESARROLLO
Diseñado para ser utilizado en aplicaciones
REVELADO, LIMPIEZA Y SECADO
UNIXX D20 Avanzado
(Ø200mm) Sistema autónomo con anillo salpicadero móvil para la carga y descarga manual de sustratos individuales.
UNIXX D30 Estándar
(Ø300mm) El sistema autónomo proporciona a los usuarios
en la ciencia y la investigación con un sistema productivo, seguro y limpio
* EBR
Diseñado para ser utilizado en aplicaciones
smartEBR para limpiar el borde en obleas planas o con muescas.
UNIXX EBR A20
(200x200mm) Sistema smartEBR autónomo (marco de base único)
