Nota de aplicación: Transferencia de patrones de ultra alta resolución para la litografía NanoFrazor

La litografía de alta resolución es un paso fundamental en la fabricación no sólo de los actuales dispositivos transistorizados, sino también de la emergente electrónica cuántica y la nanofotónica. Las aplicaciones de hoy y de mañana exigen reducir las dimensiones y aumentar la densidad de empaquetado, por lo que la resolución no puede ser demasiado alta. Aunque la litografía de ultra alta resolución (menor de 50 nm) puede ser un reto en sí misma, la transferencia de patrones -el paso siguiente a la litografía- suele ser el verdadero desafío. Aquí presentamos algunas estrategias para combinar la litografía NanoFrazor de ultra alta resolución con el grabado y el despegue que se han desarrollado en los últimos años.

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