MLA 300 Maskless Aligner

Innovación en litografía industrial

Herramienta de alto rendimiento para producción y fabricación avanzada

El MLA 300 es un alineador sin máscara optimizado para la producción industrial, ofreciendo flujo de trabajo simplificado, automatización completa e integración con sistemas MES. Diseñado para garantizar precisión óptica, eficiencia en costes y alta fiabilidad, permite la fabricación de sensores, MEMS, microfluídica, ASICs, electrónica de potencia y pantallas OLED con máxima calidad y rendimiento.

Precisión óptica: tamaño de rasgo mínimo de 1,5 µm, modos de escritura para mayor rendimiento y resolución (en roadmap), y autoenfoque en tiempo real que compensa deformaciones u ondulaciones del sustrato.

Áreas de aplicación

Versatilidad para múltiples industrias

Ventajas clave

Eficiencia y costes reducidos