MLA 300 Maskless Aligner
Innovación en litografía industrial
Herramienta de alto rendimiento para producción y fabricación avanzada
El MLA 300 es un alineador sin máscara optimizado para la producción industrial, ofreciendo flujo de trabajo simplificado, automatización completa e integración con sistemas MES. Diseñado para garantizar precisión óptica, eficiencia en costes y alta fiabilidad, permite la fabricación de sensores, MEMS, microfluídica, ASICs, electrónica de potencia y pantallas OLED con máxima calidad y rendimiento.
Precisión óptica: tamaño de rasgo mínimo de 1,5 µm, modos de escritura para mayor rendimiento y resolución (en roadmap), y autoenfoque en tiempo real que compensa deformaciones u ondulaciones del sustrato.
Áreas de aplicación
Versatilidad para múltiples industrias
- Producción de sensores y circuitos integrados de sensores
- MEMS y dispositivos microfluídicos
- Electrónica de potencia y ASICs
- Pantallas OLED y embalaje avanzado
- Circuitos integrados analógicos y digitales
Ventajas clave
Eficiencia y costes reducidos
- Eliminación de máscaras físicas → menos gestión, verificación y costes
- Láser de exposición duradero (~10 años de uso 24/7)
- Diseño modular → mantenimiento, sustitución o reparación rápida
- Corrección de patrones por troquel
- Serialización integrada → trazabilidad completa y calibración precisa de sensores
