Litografía
Litografía de Alta Precisión
Fundada en 1984, con más de 1.500 sistemas instalados en más de 50 países, Heidelberg Instruments es líder mundial en el diseño, desarrollo y producción de sistemas de litografía láser de alta precisión, alineadores sin máscara y equipos de nanofabricación.
Sus soluciones van desde herramientas de sobremesa hasta equipos de fabricación de fotomáscaras de alta gama, permitiendo la estructuración de superficies a micro y nanoescala:
Estampado 2D
Litografía en escala de grises 2.5D
Universidades de prestigio, centros de I+D e industrias confían en estos sistemas para aplicaciones en microóptica, fotónica, semiconductores, electrónica, MEMS, dispositivos cuánticos, microfluidos y materiales 2D.
Tecnologías Disponibles
- Litografía directa por láser
- Litografía por electrones
- Termolitografía
- Litografía 2.5D y 3D
Litografía
Características principales
Nanofluidos y Nanobiología
Dispositivos nanofluídicos creados mediante nanolitografía en escala de grises, ideales para:
Secuenciación de ADN
Clasificación y manipulación de nanopartículas, proteínas, enzimas o virus
Dispositivos Cuánticos
Una de las megatendencias actuales, con grandes exigencias en litografía para:
Computación cuántica
Sensado cuántico
Comunicación avanzada
Los sistemas permiten el desarrollo de prototipos basados en diferentes partículas y cuasipartículas.
Materiales 1D y 2D
Litografía de bajo daño y alta precisión para materiales sensibles, evitando defectos que limiten el rendimiento.
Nanoelectrónica
Prototipado rápido de dispositivos nanoelectrónicos, especialmente en la exploración de nuevas arquitecturas “más allá de Moore”.
Alternativa económica a tecnologías EUV o DUV
Acelera la investigación en nuevos materiales y diseños
Ciencia de los Materiales
La litografía permite modificar y dar forma a materiales a nano y microescala para estudiar y controlar sus propiedades físicas.
Litografía láser directa: creación de patrones, texturas y contactos
Litografía de sonda térmica (NanoFrazor): modificaciones locales por calentamiento, con acceso a estados de la materia únicos gracias a enfriamiento ultrarrápido y presiones locales en la nanoescala
