Gestión de residuos de obleas

Sistema Tiger Shark

Eliminación de obleas defectuosas con recuperación de productos químicos

El sistema Tiger Shark está diseñado para la destrucción automática de obleas que no superan la prueba final (tecnología flash). Mediante el uso de soluciones químicas específicas, este equipo también puede emplearse para la destrucción de máscaras.

Características principales

  • Capacidad automática para 25 obleas de un solo soporte (8″–12″)

  • Tratamiento en tanque de proceso con fase de enjuague posterior

  • Recuperación y almacenamiento de la solución de grabado para su reutilización

  • Control total mediante PLC y pantalla táctil

Software propio desarrollado por SPM con:

  • Gestión de recetas personalizadas

  • Registro de datos en tiempo real e histórico

  • Control directo P&I para actuación sobre válvulas y bombas en mantenimiento

  • Interfaz SECS-GEM (opcional) para integración en sistemas de automatización