Gestión de residuos de obleas
Sistema Tiger Shark
Eliminación de obleas defectuosas con recuperación de productos químicos
El sistema Tiger Shark está diseñado para la destrucción automática de obleas que no superan la prueba final (tecnología flash). Mediante el uso de soluciones químicas específicas, este equipo también puede emplearse para la destrucción de máscaras.
Características principales
Capacidad automática para 25 obleas de un solo soporte (8″–12″)
Tratamiento en tanque de proceso con fase de enjuague posterior
Recuperación y almacenamiento de la solución de grabado para su reutilización
Control total mediante PLC y pantalla táctil
Software propio desarrollado por SPM con:
Gestión de recetas personalizadas
Registro de datos en tiempo real e histórico
Control directo P&I para actuación sobre válvulas y bombas en mantenimiento
Interfaz SECS-GEM (opcional) para integración en sistemas de automatización
