Generador de Patrones de Volumen – VPG+ 800 / VPG+ 1400
Producción de Fotomáscaras en Sustratos Grandes
Diseñado para aplicaciones de visualización y litografía de gran superficie
Los sistemas VPG+ 800 / VPG+ 1400 están diseñados para el patronaje de alto rendimiento en obleas de gran superficie, que van de 0,8 a 1,4 m. El modelo VPG+ 1400 es el sistema más grande de la serie, creado específicamente para la industria de pantallas.
Sus aplicaciones principales incluyen:
Pantallas planas (FPD)
Matrices TFT
Filtros de color
Óxido de indio-estaño (ITO)
Además, estos equipos se emplean en fotomáscaras industriales de gran superficie para empaques avanzados, semiconductores, LED y paneles táctiles.
Precisión Óptica y Alineación
Exposiciones rápidas y de alta calidad con control avanzado
La serie VPG+ está equipada con tecnología de vanguardia que asegura:
- Interferómetro diferencial con resolución de hasta 1,2 nm, garantizando máxima precisión.
- Uniformidad y resolución del CD, optimizadas mediante control de Mura.
- Cámaras ambientales de bucle cerrado, cumpliendo con los requisitos más estrictos de fabricación.
- Reproducibilidad entre máscaras, compensando variaciones en exposiciones prolongadas.
Compatibilidad y Eficiencia
Adaptados a los estándares de la industria
Los sistemas VPG+ son compatibles con todos los formatos de datos industriales, lo que facilita su integración en procesos existentes y asegura alta estabilidad en la producción de fotomáscaras avanzadas.
