Generador de Patrones de Volumen – VPG+ 200 / VPG+ 400

Innovación en Fotomáscaras y Microestructuras

Potente herramienta para producción de microestructuras estándar en resistencias i-line

Los generadores de patrones de volumen VPG+ 200 / VPG+ 400 son sistemas de litografía láser directa diseñados para aplicaciones en resistencias i-line sobre sustratos pequeños y medianos de hasta 410 x 410 mm². Sus usos principales incluyen la creación de prototipos de productos, MEMS, embalaje avanzado, integración 3D, producción de LED y OLED, microfluidos y semiconductores compuestos.

Tecnología de Exposición y Alineación

Motor de exposición ultrarrápido y alineación automatizada

La VPG+ incorpora un motor de exposición de ultra alta velocidad y un sistema de alineación automatizada, desarrollados específicamente para los modelos VPG+ 200 y VPG+ 400. Esta tecnología garantiza:

  • Alta velocidad: motor de exposición ultrarrápido para optimizar tiempos de producción.
  • Precisión: alineación automatizada para una colocación exacta de microestructuras.
  • Calidad de imagen: resolución óptima y fidelidad en cada patrón.
  • Reproducibilidad: compensación automática de variaciones y estabilidad en exposiciones prolongadas.