Con una velocidad de escaneo sin precedentes, los sensores µsprint son la herramienta ideal para el control de calidad y de procesos con altas tasas de rendimiento y mediciones precisas. Como solución independiente para laboratorios, con caja de seguridad para entornos de producción industrial o como solución OEM, la tecnología μsprint puede integrarse de forma flexible en cualquier lugar.
EQUIPOS:
* µsprint hp-opc 3000
Un proceso de metrología con tarjeta de sonda
El control de la prueba consiste en controlar el contacto mecánico entre la punta de la sonda y el dispositivo bajo prueba (DUT). La determinación del estado mecánico es esencial, ya que un buen contacto mecánico es la condición previa para que el contacto eléctrico satisfaga los requisitos de la prueba.
Determinación de los parámetros geométricos
La herramienta de inspección de tarjetas de sonda μsprint está diseñada para permitir procesos rápidos de inspección de tarjetas de sonda con el fin de determinar los parámetros geométricos de las tarjetas de sonda, como los diámetros, la forma, la coplanaridad y la posición de las puntas de sonda, así como la orientación, la inclinación y la deformación de los cabezales de sonda de diferentes materiales. Además, el proceso es capaz de proporcionar información sobre el estado de la holgura o el estado de la zona de sobrecarga, respectivamente, para la identificación temprana de dichas condiciones que pueden dañar o destruir las obleas durante el proceso de sondeo.
La herramienta es capaz de adquirir los parámetros geométricos de las puntas de las tarjetas de sondeo MEMS, verticales, en voladizo, POGO y similares con la máxima precisión y exactitud y a una velocidad notable. La adquisición de datos es muy robusta y adecuada para la gran variedad de materiales utilizados en el diseño de las tarjetas de sonda.
Rápidos bucles de retroalimentación para reducir el coste operativo
El impresionante rendimiento de la herramienta permite una adquisición continua de las tarjetas de sonda en los lugares de prueba de obleas para juzgar la utilidad general o la defectuosidad de una tarjeta de sonda antes o después de cada operación. También proporciona permanentemente información detallada sobre el desgaste de una tarjeta de sonda hasta el final de su vida útil (EOL).
La herramienta de inspección de tarjetas de sonda μsprint está diseñada de acuerdo con los requisitos del Front End of Line (FEoL) proporcionando una interfaz de usuario compatible con SEMI, así como el protocolo de comunicación de host estándar SECS/GEM. La plataforma de la herramienta está basada en Win7 y está preparada para Win8 y Win10 bajo demanda.
El sistema de metrología 3D µsprint hp-opc 3000 está especializado en la inspección de tarjetas de sonda en la producción de obleas.
Ejemplos de aplicaciones
Geometría de la punta de la sonda
Se puede medir el diámetro mayor y menor, la altura y la coplanaridad, así como el área, la orientación y la posición lateral de la punta de la sonda.
Características del cabezal de la sonda
La inspección de todo el cabezal de la sonda, incluso en áreas muy grandes, es una capacidad adicional de la herramienta proporcionada por el sistema de inspección de tarjetas de sonda μsprint.
Identificación de obstáculos
La herramienta permite identificar los defectos y obstrucciones de la tarjeta de la sonda que pueden dañar o destruir dispositivos o incluso obleas completas.
* µsprint hp-hsi 2000
Una herramienta de metrología 3D automatizada para la industria de los semiconductores
En la fabricación de estructuras de interconexión y otros semiconductores, así como en los equipos de ensayo que los acompañan, la tendencia constante a la miniaturización hace necesarias nuevas tecnologías de medición en el control de calidad y de producción. Las técnicas de medición confocal son bien conocidas por ofrecer varias características únicas, como alta resolución, precisión, fiabilidad y robustez.
Especialmente en el aseguramiento de la calidad y la supervisión de procesos, la tecnología μsprint ofrece una combinación óptima de resolución y velocidad. La alta resolución permite detectar alturas de estructuras de hasta unos pocos micrómetros con la máxima reproducibilidad.
Funcionamiento totalmente automatizado
La instalación completa consta de un módulo de manipulación totalmente automatizado y un módulo de inspección cerrado. Los puertos de carga pueden llenarse sucesivamente para la inspección ininterrumpida de obleas, paneles y otros tipos de sustratos. Los datos de los resultados de las mediciones se transfieren a los hosts de proceso, ya sea mediante SECS-GEM o mediante sistemas de intercomunicación específicos del cliente.
Aplicación
La tecnología μsprint es aplicable a casi cualquier tipo de superficie. La gran dinámica del sensor garantiza una separación fiable de las estructuras, las geometrías de los sustratos y los defectos, beneficiándose de la detección de las más pequeñas diferencias en las características de reflexión. Al mismo tiempo, la extraordinaria robustez de la tecnología confocal permite la máxima precisión de medición tanto en superficies rugosas como lisas.
Inspección de baches
La alta resolución y la dinámica del sensor µsprint permiten determinar con exactitud la altura y el diámetro, la coplanaridad y otros parámetros
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* µsprint topographer
Adquisición de datos 3D de alta velocidad con la máxima precisión
Con una velocidad de escaneo sin precedentes, el topógrafo μsprint adquiere datos de perfiles de cualquier superficie con gran precisión y altas tasas de rendimiento.
El topógrafo μsprint mide topografías en el rango de los μm. Es la herramienta ideal para el aseguramiento de la calidad y el control de procesos que requieren un escaneo de grandes áreas acompañado de resultados de medición precisos y fiables.
Adquisición de datos de alta precisión
El μsprint topógrafo es un sistema de medición 3D de sobremesa independiente. La platina es la base para la mesa x,y y el sensor 3D, que proporciona la estabilidad esencial para la adquisición de datos de alta precisión.
El software μsprint proporciona una multitud de posibilidades para la exploración y el análisis de datos.
Ejemplos de aplicación
El principio del sensor ha demostrado sus capacidades únicas tanto en superficies altamente reflectantes como en superficies extremadamente absorbentes de luz y rugosas.
El topógrafo µsprint se aplica en todo el mundo en el control de calidad, donde son esenciales las altas tasas de rendimiento, como en la industria del automóvil, la tecnología médica, la microelectrónica o la industria de los semiconductores. La tecnología μsprint es adecuada para una gran variedad de aplicaciones que van desde la inspección de protuberancias de obleas y componentes de alta precisión hasta la inspección de soldaduras por láser y por puntos.
Inspección de baches
La alta resolución y la dinámica del sensor µsprint permiten determinar con exactitud la altura y el diámetro, la coplanaridad y otros parámetros
* µsprint sensor
Control al 100% con el sensor confocal más rápido
Con más de 5 millones de puntos de medición 3D por segundo, los flexibles y excepcionalmente rápidos sensores µsprint establecen nuevos estándares en materia de velocidad. En combinación con su alta precisión y su amplio campo de medición, µsprint es la solución «todo en uno» apta para una amplia gama de tareas de medición.
Como solución independiente para laboratorios, con carcasa para entornos de producción industrial o para integrar en sistemas existentes, la tecnología µsprint es fácil y flexible de integrar.
El nuevo µsprint C3x: aún más rápido y preciso
En comparación con el sensor µsprint C3, el nuevo sensor C3x alcanza una resolución axial diez veces mayor (10 nm), así como una resolución lateral de 0,5 µm a 2,5 µm. Gracias al objetivo de alta apertura, fabricado exclusivamente para la línea de productos µsprint de NanoFocus por Zeis AG, se pueden medir incluso ángulos pronunciados de hasta 53°. Esto ofrece grandes ventajas relacionadas con la estabilidad de los datos de medición, especialmente en el campo de la inspección de baches.
Con el sistema de 256 canales, se procesan más de 5 Mio. de puntos de medición 3D. Para los usuarios, esto supone un aumento del rendimiento hasta el momento de hasta un 80%, en comparación con µsprint C3
Ejemplos de aplicación
El sensor es especialmente adecuado para las inspecciones de formas en 3D, las inspecciones de baches en obleas y sustratos, y las inspecciones de soldaduras por láser.
Inspección de baches
La alta resolución y la dinámica del sensor µsprint permiten determinar con exactitud la altura y el diámetro, la coplanaridad y otros parámetros.