Estación de Puntas

Estaciones de puntas para Microscopía Electrónica

Precisión y versatilidad para diversas aplicaciones

Una estación de puntas es un sistema que permite la caracterización eléctrica de obleas, circuitos integrados y otros dispositivos en miniatura, mediante la fijación y conexión de la muestra a equipos de prueba y la aplicación de puntas de contacto eléctrico.

Estas estaciones están diseñadas para trabajar con muestras pequeñas y complejas, ofreciendo alta precisión y versatilidad para diversas aplicaciones.

Modelos Disponibles

PS4 – Prober Shuttle: Estación de Puntas para SEM

Función: Plataforma de nanoprobing eléctrico in situ de ultra alta precisión en sistemas SEM, equipada con manipuladores ultrafinos y configuración personalizable.

Aplicaciones clave:

  • Medición eléctrica de dispositivos nano/microestructurados

  • Análisis de fallos y caracterización de semiconductores

  • Ensayos I/V, C/V, EBIC y otras técnicas avanzadas

Características técnicas:

  • Altura total de solo 9 mm: compatible con la mayoría de los sistemas SEM con carga lateral o vertical

  • Composición modular: hasta 4 manipuladores MM4 (tres ejes, ultraestables)

  • Opción de subestación ultrafina con 2 o 3 ejes

  • Medición de baja corriente y baja capacitancia

  • Total compatibilidad con herramientas avanzadas como Live Contact Tester (LCT) y Electron Beam Induced Current (EBIC)

STA – Safe Tip Approach Module

Función: Sensor de corriente de túnel para acercamiento seguro y automatizado de las sondas al área de interés.

Aplicaciones clave:

  • Evita colisiones entre sonda y muestra durante el acercamiento

  • Mejora la seguridad y facilidad de uso en pruebas eléctricas

  • Aumenta la productividad al reducir tiempo de alineación

Características técnicas:

  • Sensor de corriente de túnel integrado

  • Compatible con el sistema Prober Shuttle

  • Permite acercamiento automatizado incluso por usuarios sin experiencia

  • Alta precisión en conductores a escala nanométrica

MM3A-EM Probe Station – Estación de Sondas Avanzada para SEM

Función: Plataforma avanzada para pruebas eléctricas con múltiples micromanipuladores y subestación de gran recorrido.

Aplicaciones clave:

  • Caracterización eléctrica en dispositivos MEMS/NEMS

  • Nanoprobing multipunto y análisis simultáneo

  • Integración con aplicaciones de calor, imagen o fuerza

Características técnicas:

  • Hasta 8 micromanipuladores MM3A-EM

  • Subestación XY de largo alcance (30 mm por eje)

  • Opción de codificadores con repetibilidad de 50 nm

  • Eje Z opcional con recorrido de 3 mm

  • Instalación y desmontaje rápidos sobre el escenario del SEM

  • Soporte para mediciones de baja corriente/capacitancia

  • Compatible con EBIC, LCT, entre otros módulos

  • Posibilidad de etapa de calentamiento hasta 450 °C

  • Personalización disponible (e.g., iluminación LED)

NanoWorkstation – Plataforma de Nanomanipulación para SEM/FIB

Función: Sistema modular que añade manipulación física y caracterización mecánica a escala micro y nano dentro del SEM/FIB.

Aplicaciones clave:

  • Montaje y ensamblado de microestructuras

  • Pruebas mecánicas (nanoindentación, tracción, etc.)

  • Preparación y transferencia de muestras para TEM

  • Manipulación física avanzada: rotación, empuje, agarre, etc.

Características técnicas:

  • Diseño modular: permite intercambio rápido de herramientas

  • Compatible con la mayoría de SEM y FIB del mercado

  • Plataforma flexible y potente para tareas de manipulación in situ

  • Ideal para laboratorios de I+D industrial y académico

  • Posibilita tareas como mover, ensamblar, empujar, girar, probar, escuchar o realizar litografía

  • Escalable para futuras herramientas y accesorios personalizados