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Film Thickness Measurements are one of the most challenging and critical metrics in any coating process. Destructive testing can be used to measure the thickness of a film from a cross-section, however (besides the undesirability of a broken product), the method of breakage may impact the measurement (a cutting tool may compress it, a cleave plane may result in delamination). Non-destructive optical testing is preferred, but, buying separate tools for profiling and film thickness measurements is not cost effective for most labs and small companies. Combining a film spectrometer with an optical profiler is an ideal solution.

Zeta Film Thickness (ZFT)

Zeta Film Thickness option is available on all Zeta3D™ models:

  • Additional tool capability without the cost or the floor space overhead
  • Works well on samples with large film thickness non-uniformity
  • Can measure films thicker than 30 nm and up to 100 microns in thickness
  • Zeta3D True Color images provide valuable surface topography information at the same location

 

Benefits of ZFT Option

  • Reduce up-front tool investment
  • Decrease clean room space for metrology tools or elbow room
  • Improve productivity
    • Operator-friendly GUI
    • One stop metrology station (Optical Profiler + Film Spectrometer)
  • Reduce on-going cost of ownership
    • Single contact to manage for tool maintenance and upgrade
    • Significant reduction in service parts and labor costs
Industry challenges addressed by ZFT
  • Many separate tools to complete measurements
  • Destructive testing
  • Inaccurate location data
  • Convenience
  • Slow Speed
  • No Cost Saving
  • Technology

    The ZFT (Zeta Film Thickness) option on the Zeta3D™ Optical Profilers is a white light based broadband spectroscopic reflectometer that is capable of measuring multi-stack film thickness or n&K values if the thickness is known. It uses a common light source, optics path and camera, so that the film thickness measurements are in the same location as the 3D surface profile measurements.

    Learn more about ZFT technology.

    A graphic indicator on the Live Image screen (shown below) clearly shows the user where the film thickness measurement is being taken.

    Specifications

    • Non-contact white light reflectometer
      • Spectral range: 430nm-750nm
      • Spectral resolution: 1 nm
      • Library of n and K values for over 200 materials
      • Prediction of n and K values if film thickness is known
    • Can handle rough surfaces such as solar cells
    • 3D film thickness maps on large samples
    • Film and Topography information at the same location
    • Fast scan time and user friendly GUI
    • Integrated spectrometer reduces overall metrology cost

    Transparent or semi-transparent films

  • Más información en :

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Medir el espesor de películas delgadas es una de las métricas más desafiantes y críticas en cualquier proceso de recubrimiento. Ensayos destructivos pueden utilizarse para medir el espesor de una película de una muestra representativa, sin embargo (además de la inconveniencia de un producto roto), el método de rotura puede afectar a la medición (una herramienta de corte puede comprimirlo, o se puede laminar). Es preferible una muestra ópticas no destructiva,  pero comprar una herramienta separada para estas mediciones resulta caro para la mayoría laboratorios pequeños y pymes por lo que la combinación de un espectrómetro con un perfilador óptico sería la solución ideal.

Zeta Film Thickness (ZFT)L

Las opciones  Zeta Film Thickness de  all Zeta3D™ models para esto son:

Zeta Film Thickness (ZFT)

BENEFICIOS DE LA OPCIÓN ZFT DE ZETA

  • Capacidad de herramienta adicional sin el coste o la sobrecarga del espacio de suelo
    * Funciona bien en muestras  que no son uniformes en el grosor de película
    * Puede medir películas de espesor superior a 30 nm y hasta 100 micras de grosor
    * Las imágenes en color verdadero Zeta3D proporcionan valiosa información de topografía de superficie en la misma localización.
  • Se reduce la inversión
  • Disminución del espacio de las herramientas de metrología
    • Mejora la productividad
    • Una única estación de metrología (Perfilómetro Optico + Film Spectrometer)
    • Reducción de costes
    • Reducción de piezas y costes laborales
 Los retos de la industria abordados por ZFT

* Muchas herramientas separadas para completar las mediciones
* Pruebas destructivas
* Datos de localización inexactos
* Conveniencia
* Velocidad lenta
* Sin ahorro de costes
  • Tecnología

  • La opción ZFT (Zeta Film Thickness) del Zeta3D ™ Optical Profilers es un reflectómetro espectroscópico de banda ancha basado en luz blanca capaz de medir el espesor de película multi-pila o los valores n & K si se conoce el grosor. Utiliza una fuente de luz, una trayectoria óptica y una cámara comun, de modo que las medidas de espesor de la película se encuentren en la misma posición que las mediciones del perfil de superficie 3D

    Learn more about ZFT technology.

    Mostramos a continuación un indicador gráfico de una imagen en directo que muestra claramente al usuario donde se está tomando la medición de espesor de película.

    Specifications

    • Non-contact white light reflectometer
      • Spectral range: 430nm-750nm
      • Spectral resolution: 1 nm
      • Library of n and K values for over 200 materials
      • Prediction of n and K values if film thickness is known
    • Can handle rough surfaces such as solar cells
    • 3D film thickness maps on large samples
    • Film and Topography information at the same location
    • Fast scan time and user friendly GUI
    • Integrated spectrometer reduces overall metrology cost

    Transparent or semi-transparent films

  • Más información en :

 

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