Perfilómetro Óptico Zeta-20

Product image of the Zeta-20

El Zeta-20 es un microscopio de perfilometría óptica – optical profiler totalmente integrado que proporciona metrología 3D y capacidad de creación de imágenes en un paquete compacto y robusto. El sistema está alimentado por la tecnología ZDot ™, que recopila simultáneamente datos 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito de color verdadero. El Zeta-20 admite entornos de I + D y producción con ópticas multimodo, software fácil de usar y un bajo coste.

Caracteristicas

  • Perfilómetro óptico fácil de usar con ZDot y óptica multimodo para abordar una amplia gama de aplicaciones
  • Microscopio de alta calidad para revisión de muestras o inspección de defectos
  • ZDot: recopila simultáneamente un escaneo 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito de color verdadero
  • ZFT: el espesor y la reflectancia de la película se miden con un reflectómetro de banda ancha integrado
  • ZIC: contraste de interferencia para datos cuantitativos en 3D de superficies con rugosidad sub-nanométrica
  • ZXI: interferometría de luz blanca para mediciones de área amplia con resolución z alta
  • ZSI: interferometría de corte para imágenes con alta resolución z
  • AOI: inspección óptica automática para cuantificar defectos en la muestra
  • Capacidad de producción: mediciones totalmente automatizadas con secuenciación y reconocimiento

Perfilómetro Óptico Zeta-300

Product image of the Zeta-300

El Zeta-300 proporciona metrología 3D y capacidad de imagen, combinada con una tabla de aislamiento integrada y flexibilidad de configuración para manejar muestras más grandes. El sistema está alimentado por la tecnología ZDot ™, que recopila simultáneamente datos 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito de color verdadero. El Zeta-300 admite entornos de I + D y producción con ópticas multimodo, software fácil de usar y un bajo coste de propiedad.

El perfilómetro óptico Zeta-300 es un sistema de medición de topografía de superficie 3D sin contacto. El Zeta-300 se basa en la capacidad del Zeta-20 con opciones de aislamiento adicionales y flexibilidad de configuración para manejar muestras más grandes. El sistema está alimentado por la tecnología patentada ZDot ™ y la óptica multimodo, que permite la medición de una variedad de muestras: transparente y opaca, de reflectancia baja a alta, de textura suave a rugosa y alturas de paso desde nanómetros hasta milímetros. El Zeta-300 integra seis tecnologías diferentes de metrología óptica en un sistema configurable y fácil de usar. El modo de medición ZDot ™ recopila simultáneamente un escaneo 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito de color verdadero. Otras técnicas de medición 3D incluyen la interferometría de luz blanca, la microscopía de contraste de interferencia Nomarski y la interferometría de cizallamiento. El espesor de la película se puede medir con ZDot o un reflectómetro de banda ancha integrado. El Zeta-300 también es un microscopio de gama alta que se puede utilizar para la revisión de muestras o la inspección automatizada de defectos. El Zeta-300 es compatible con los entornos de I + D y de producción al proporcionar medidas integrales de altura, rugosidad y grosor de la película y capacidad de inspección.

Caracteristicas

  • ZDot y óptica multimodo para abordar una amplia gama de aplicaciones Revisión de la muestra del microscopio de alta calidad o inspección de defectos
  • ZDot: recopila simultáneamente un escaneo 3D de alta resolución y una imagen de enfoque infinito de color verdadero
  • ZXI: interferometría de luz blanca para mediciones de área amplia con resolución z alta
  • ZIC: contraste de interferencia para datos cuantitativos en 3D de superficies con rugosidad sub-nanométrica
  • ZSI: interferometría de corte para imágenes con alta resolución z
  • ZFT: el espesor y la reflectancia de la película se miden con un reflectómetro de banda ancha integrado
  • AOI: inspección óptica automática para cuantificar defectos en la muestra
  • Capacidad de producción: mediciones totalmente automatizadas con secuenciación y reconocimiento
  • Altura de escalón: 3D de nanómetros a milímetros
  • Textura: rugosidad 3D y ondulación en superficies lisas a muy rugosas
  • Forma: arco 3D y forma
  • Estrés: estrés de película delgada 2D
  • Espesor de la película: espesor de la película transparente de 30 nm a 100 µm
  • Inspección de defectos: defectos de captura superiores a 1 µm
  • Revisión de defectos: los archivos KLARF, se utilizan para buscar los defectos para medir la topografía de la superficie 3D o para marcar ubicaciones de defectos.