Elipsometría Espectroscópica
Accurion RS
Inspección rápida de obleas (Fast Wafer Inspection)
La tecnología RSE combina la alta sensibilidad de un elipsómetro con la velocidad de medición de un reflectómetro. Diseñada para cartografía de espesores a alta velocidad, permite medir con precisión espesores desde 0,1 nm hasta 10 µm. Gracias a su arquitectura de referencia, no requiere movimiento de componentes ópticos, alcanzando una adquisición de 200 espectros por segundo en áreas de hasta 100 mm × 100 mm en solo 12 minutos.
Características clave del Accurion RS
- Medición rápida: 200 espectros completos por segundo, ideal para grandes áreas en minutos.
- Precisión extrema: mide espesores de 0,1 nm a 10 µm con exactitud.
- Comparación directa entre muestra y referencia sin necesidad de mover ópticas.
- Mapeo sincronizado XY para obtener cartografías de espesor de película de gran campo.
- Sensibilidad superior a capas finas frente a elipsometría convencional y reflectometría.
Aplicaciones típicas del Accurion RS
- Inspección de obleas.
- Medición de espesor en películas ultrafinas e intercalares.
- Verificación de homogeneidad en multicapas.
- Detección de contaminantes sobre superficies.
- Control de capas finas sobre sustratos transparentes.
¿Qué es la elipsometría?
La elipsometría es un método óptico altamente sensible que se utiliza desde hace más de cien años para obtener información sobre superficies.
Aprovecha el hecho de que el estado de polarización de la luz cambia cuando un haz se refleja en una superficie.
Si esa superficie está cubierta por una película fina o una pila de películas, todo el sistema óptico de la película y el sustrato influye en ese cambio de polarización, lo que permite deducir propiedades clave de la película, especialmente su espesor.
¿Cómo funciona RSE?
El RSE es un tipo especial de elipsómetro que compara la muestra con una referencia.
Como el sistema compensado de referencia es un elipsómetro, los datos medidos se ajustan a un modelo óptico para calcular parámetros como el índice de refracción complejo o el espesor de la película.
Para gestionar la alta velocidad de datos, se utiliza una tabla de ajuste: se precalcula una tabla de consulta, de modo que los datos medidos se procesan en tiempo real y con alta resolución.
¿Por qué elegir la elipsometría espectroscópica referenciada?
Ventajas frente a métodos convencionales
Ventajas frente a métodos convencionales
- Combina la información espectroscópica (450–900 nm) con la rapidez de medición.
- Más sensible que métodos absolutos, ideal para capas muy finas.
- Ajuste en tiempo real mediante tablas de consulta previamente calculadas.
- Obtención de parámetros ópticos como índice de refracción complejo y espesor de película.
