Elipsometría de Imagen
La elipsometría de imagen en pocas palabras
Una técnica óptica sin contacto para caracterización de microestructuras
La elipsometría de imagen es una técnica de metrología totalmente óptica y sin contacto, ideal para caracterizar el espesor de capa y el material de muestras y sustratos microestructurados de película fina. Combina imagen microscópica con principios de elipsometría espectroscópica, alcanzando una resolución espacial de hasta 1 µm, superando las herramientas ópticas tradicionales. A través de la interacción con luz polarizada y modelado computacional, genera mapas detallados de grosor, índice de refracción, absorción, rugosidad o anisotropía.
Accurion EP4
Elipsometría y microscopía combinadas
El Accurion EP4, última generación de elipsómetros de imagen, permite caracterizar el espesor y el índice de refracción con sensibilidad extrema en microestructuras de hasta 1 µm. Su integración con microscopía permite mediciones simultáneas de todas las estructuras dentro del campo de visión, ofreciendo mapas tridimensionales de variaciones laterales.
- Espesor medible desde 0,1 nm hasta 10 µm y registro de mapas tridimensionales
- Identificación de regiones de interés mediante vista en directo para luego medir con precisión.
- Configuración modular con opciones desde BAM hasta elipsometría espectroscópica completa.
- Iluminación de filo de navaja patentada para eliminar reflejos traseros molestos.
- Posibilidad de integración con AFM, QCM-D, Raman y más para mediciones combinadas.
Accurion SIMON
Ideal para inspección rutinaria y control de calidad
El sistema SIMON es un elipsómetro de ángulo fijo diseñado para tareas de medición rutinarias. Con una interfaz intuitiva y robusta, permite operar en modo microscópico para visualizar defectos y variaciones o en modo elipsométrico para mediciones de espesor e índice de refracción.
- Sistema básico fácil de usar con interfaz intuitiva.
- Resolución elipsométrica lateral de hasta 1 µm.
- Visualización rápida de defectos ocultos y distribución de capas en grandes superficies.
- Aplicaciones ideales en control de calidad e inspección de materiales 2D.
