Elipsómetro
Tecnología de medición óptica avanzada
Precisión en el grosor de películas delgadas y análisis de superficies
La elipsometría es una técnica óptica utilizada para medir con gran exactitud el grosor de películas delgadas. Se basa en la polarización de un haz de luz incidente, su reflexión en una superficie lisa en un ángulo oblicuo, y la posterior medición de la luz reflejada, que pasa de una polarización lineal a una polarización elíptica.
Técnicas y sistemas de elipsometría disponibles
Combinación de elipsometría y microscopía óptica.
Los elipsómetros de imagen de Accurion integran lo mejor de dos mundos:
- Resolución espacial mejorada de aproximadamente 1 µm
- Permite aplicaciones en microanálisis, microelectrónica y bioanalítica
- Tecnología única que combina metrología elipsométrica y microscopía de contraste de polarización
Mapeo de espesores a alta velocidad.
El elipsómetro espectroscópico referenciado (RSE) ofrece:
- Medición precisa de espesores de 0,1 nm a 10 µm
- Registro de 200 espectros completos por segundo
- Capacidad de investigar un área de 100 mm x 100 mm en solo 12 minutos
- Ideal para control de calidad y cartografía de espesores
Visualización directa de monocapas y películas en interfaces aire/líquido.
El UltraBAM es el microscopio de ángulo Brewster definitivo:
- Permite observar monocapas de Langmuir y películas de adsorbato
- Compatible también con sustratos sólidos como vidrio o cuarzo
- Imágenes totalmente enfocadas en tiempo real a 20–35 fps
- Analizador motorizado para visualizar anisotropía óptica y orden molecular
- Supervisión de cinética de adsorción y variaciones de espesor
La forma microscópica de hacer elipsometría
Elipsómetro de imágenes con una gran precisión en la caracterización de materiales
Accurion EP4, nuestro elipsómetro de imágenes más reciente, combina elipsometría y microscopía para una caracterización precisa del espesor y el índice de refracción en microestructuras de hasta 1 µm. Todas las estructuras dentro del campo de visión se miden simultáneamente. El EP4 ofrece una vista en vivo con contraste elipsométrico, lo que permite la detección de características subnm e identificación de regiones de interés.
Características destacadas:
- Medición simultánea de todos los píxeles dentro del campo de visión
- Resolución elipsométrica lateral más alta
- Selección intuitiva de la región de medición dibujando regiones en la vista elipsométrica en vivo
- Elipsometría de imágenes espectroscópicas continuas
- Combinación de las técnicas de elipsometría y microscopía
- mapas 3D de espesor (0,1 nm - 10 µm) e índice de refracción