Sistema de litografía EB
Serie CABLE-UH (130 kV)
La dispersión frontal de la resina EB es menor debido a un voltaje de aceleración más alto. El modelo CABL-UH ofrece una precisión inferior a 10 nm. Puede seleccionar 90 kV, 110 kV o 130 kV según su presupuesto.
Diámetro del haz: <1,6 nmΦ.
Voltaje de aceleración: 130 kV, 110 kV o 90 kV.
Tamaño de la plataforma: oblea de 8 pulgadas (puede usar cualquier otra oblea de menor tamaño).
Serie CABLE-AP (50 kV)
Es el mejor modelo para la producción de diodos láser DFB para dispositivos de comunicación óptica, así como para aplicaciones académicas y de I+D. Logramos alta resolución y alto rendimiento con 50 kV.
Diámetro del haz: < 2 nmΦ (para aplicaciones académicas y de I+D)
< 4 nmΦ (para producción).
Voltaje de aceleración: 50 kV, 30 kV.
Tamaño de la plataforma: modelo de oblea de 4 pulgadas, 6 pulgadas y 8 pulgadas.
Características Principales
Serie CABLE-UH (130 kV)
- Vacc: 130 kV máx. (25-130 kV, pasos de 5 kV)
- Capacidad de aceleración de una sola etapa de hasta 130 kV para minimizar el tamaño del EOC
- Cañón de electrones libres de microdescarga
- Diámetro del haz: >1,6 nm
- La lente electrostática entre el emisor y el ánodo está diseñada para lograr una aberración muy baja y una imagen de cruce de corto alcance en el centro de los electrodos de bloqueo
- Se logra una capacidad de escritura ultraestable mediante controladores térmicos duales
Características Principales
Serie CABLE-AP (50 kV)
- TFE 50kV
- Alta resolución, igual que 100kV
- Escritura de puntos de alta precisión durante mucho tiempo mediante un interferómetro láser especialmente diseñado
- Entorno multiusuario (EOC controlado por PC = Receta)
- Autocontrol del entorno: sin calor ni ruido
- Métodos de escritura flexibles (vectorial, vector R-theta, raster, puntual, simétrico axial, modulación del tamaño del campo, multimodo, 3D)
